판매용 중고 ASML Twinscan 1700i #293645775

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ID: 293645775
Immersion scanner Wavelength: 45 nm.
ASML Twinscan 1700i는 반도체 생산에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. "마이크로칩 '과 기타 부품 들 을 고도 의 정확도 와 속도 로" 실리콘 웨이퍼' 표면 에 배치 할 수 있는 고급 생산 "시스템 '이다. 스테퍼에는 강력한 옵틱이 장착되어 있으며, 가장 정확한 에칭 및 이미징 프로세스를 위해 극자외선 (EUV) 리소그래피를 사용합니다. 트윈 스칸 1700i (Twinscan 1700i) 는 노출 시간을 줄이기 위해 설계되었으며, 이는 처리 중인 섬세한 회로와 기판에 열 손상을 줄입니다. 공기 또는 진공의 두 가지 환경에서 작동 할 수 있습니다. 공기 중 에서 작동 할 때 는 건조 한 주사 기능 을 이용 할 수 있는데, 이것 은 수분, 먼지, 먼지 가 "웨이퍼 '에 미치는 영향 을 제한 하는 데 도움 이 된다. 이 기능은 또한 뛰어난 이미징 정확도와 가장 빠른 처리량을 제공합니다. 이 고급 머신은 강력한 컴퓨터 시스템과 고도로 구성 가능한 자동화 기술에 의해 구동됩니다. 스테이지 스캔, AFM 및 KFK 스캔을위한 4 개의 선형 축과 구성 가능한 회전 축이 있습니다. 0.05 um의 반복 가능성으로 0.1 um (10 나노 미터) 의 3D 해상도까지 스캔 할 수 있습니다. 또한 최대 정렬 단계 속도는 최대 25mm/s, 최대 초점 범위는 1300mm입니다. 트윈 스칸 (Twinscan) 은 시간당 최대 300 웨이퍼에서 직경이 8 인치 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 레이저 안전 셔터 (Laser Safety Shutter), 프로그래밍 가능한 안전 연결 장치 (Programmable Safety Interlock) 및 경고 표시등 등 적절한 작동을 보장하기 위해 여러 가지 고급 안전 기능이 있습니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 ASML Twinscan 1700i에 반도체 장치 생산량을 크게 향상시킬 수있는 잠재력을 제공합니다.
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