판매용 중고 ASML Power box #293671352
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ID: 293671352
ASML Power box는 반도체 프로세스에 사용되는 웨이퍼 스테퍼 유형입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 다양한 유형의 방사선에 정확하게 배치하고 노출시키기 위해 설계된 고급 도구입니다. 기계는 X, Y 및 Z 모터를 사용하여 스테이지를 이동하고 웨이퍼의 조명 매개변수를 조정합니다. 이를 통해 소형 장치 및 고기능 밀도의 매우 정확한 리소그래피가 가능합니다. Power 상자의 기본 매개 변수는 다음과 같습니다. 이미징 영역 - 300mm; 이미지 크기 - 200 ~ 500 nm; 조명 소스-UV, IR 및 가시적; 노출 용량 범위-0.1에서 10 µJ/cm2; 반복성- < 1 µm. 이 기계에는 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 고급 자동화 (automation) 기능이 있어 유지 보수가 용이합니다. 최고 수준의 이미지 품질을 얻기 위해 ASML Power (전원) 상자는 두 가지 주요 구성 요소를 사용합니다. 스캔 렌즈 어셈블리 및 웨이퍼 스테이지 시스템. 스캔 렌즈 어셈블리는 광선을 웨이퍼로 향하는 서보 구동 미러 (servo-driven mirror) 로 구성됩니다. 미러는 리토그래피 프로세스의 초점, 공간 해상도, 노출 매개변수를 설정하기 위해 3 축 모두에서 이동합니다. 웨이퍼 스테이지 시스템은 정지 테이블 (stationary table) 과 이동 가능한 스테이지 (movable stage) 로 구성되며 X, Y 및 Z 방향으로 이동하여 빔을 웨이퍼의 여러 위치로 지시합니다. e-beam, extreme UV, ionizing radiation 및 적외선을 포함한 다양한 유형의 방사선을 Power 박스와 함께 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자동 차단, 레이저 경보 등 여러 안전 기능을 갖추고 있습니다. ASML 전원 (ASML Power) 상자는 리소그래피 프로세스를 정확하게 제어하는 놀라운 고급 도구입니다. 파워박스 (Power box) 는 여러 개의 조명 소스와 고품질 이미지를 사용하여 높은 기능 밀도를 가진 소형 장치를 제조하는 데 적합합니다.
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