판매용 중고 ASML PAS 5500 #9050378

ASML PAS 5500 (ASML PAS 5500) 은 반도체 업계에서 고급 마이크로 전자 장치 생산을 위해 사용되는 고성능 광학 프로젝션 스캐너입니다. 이 제품은 널리 사용되는 PAS 5000 시리즈의 고급 버전이며 고급 고해상도 웨이퍼 (wafer) 스텝퍼에 맞춰져 있습니다. PAS 5500에는 다양한 노출 파장 (Exposure Wavength) 과 더 높은 해상도의 어플리케이션을 위한 정확하고 안정적인 강도를 만들 수 있는 고급 광원이 내장되어 있습니다. 폭발 프로젝터 헤드에는 독립적으로 조정할 수 있는 3 개의 SP (소스 포인트) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 집중력 (Focusing Capability) 이 향상되어 최종 제품에 보다 균일한 피쳐 크기와 모양이 생성됩니다. 전체 필드 이미지 마스크 장치 (full field image mask device) 는 대상 영역을 정렬하고 위치를 빠르게 이동하여 웨이퍼 배치를 빠르고 정확하게 만드는 데 사용됩니다. ASML PAS 5500은 고해상도 5 인치 센서를 사용하여 정밀 작동을 허용합니다. 유지 보수 (maintenance-free) 방식으로 설계되었으며, 시장 수요를 증가시키기 위해 쉽게 업그레이드 할 수 있습니다. 고해상도 PAS 5500은 뛰어난 라인 너비 제어 기능, 매우 낮은 양의 패턴 왜곡 (pattern distortion) 및 이미지 노이즈 기능을 제공합니다. 이를 통해 하이엔드 운영 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다. 이 시스템에는 고밀도 제어 블록 (High Precision Control Block) 도 포함되어 있어 와퍼의 정확하고 안정적인 노출을 보장합니다. 그것 에는 "빔 '의 강도 와" 레티클' 의 정렬 을 측정 하는 여러 개 의 "센서 '가 들어 있다. 또한 CPV (Pattern Variations) 를 수정하고 Wafer 구성 프로세스 중에 발생할 수 있는 모든 수준 오류를 수정합니다. ASML PAS 5500은 안정적이고 고성능 웨이퍼 스테퍼로, 정확한 정렬, 높은 균일성 및 뛰어난 라인 너비 제어를 제공합니다. '운영 프로세스 (production process)' 에 적합하며, 새로운 요구 사항에 쉽게 적응하여 다양한 애플리케이션에 적합합니다.