판매용 중고 ASML PAS 5500 / 90 #293817842

ASML PAS 5500/90은 고급 레이저 기반 웨이퍼 스테퍼 시스템입니다. 이 스테퍼는 광선 리소그래피 도구 역할을하며, 고출력 아르곤 레이저를 사용하여 반도체 웨이퍼에 나노 스케일 구조를 만듭니다. 최대 0.7 미크론의 해상도로 오브젝트 (웨이퍼) 의 고정밀 정렬 및 이동을 허용합니다. PAS 5500/90은 향상된 광자 수집을 위해 고진공 직립 인클로저 (high-vacuum upright enclosure) 에 수용되며, 최적의 웨이퍼 성능을 위해 진동을 줄이고 미세 수준의 정확성을 유지하는 견고한 재료로 만들어졌습니다. 스테퍼에는 SBG (Scatter Beam Generator) 와 WHS (Wafer Holding System) 의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. "SBG '는 단위 의 기단 에 위치 해 있으며, 전자 광선 을" 웨이퍼' 표면 에 투영 한다. 장치 상단에 위치한 WHS (WHS) 는 전동 선형 (Motorized Linear) 과 원형 (Circular) 운동으로 웨이퍼를 잡고 정확하게 움직여 레이저 빔으로 복잡한 패턴을 에칭 할 수 있습니다. ASML PAS 5500/90은 로직 회로, MEM, 트랜지스터 등의 미세한 기능과 회로를 웨이퍼에 구성하는 데 사용될 수 있습니다. 최소 선 너비 (0.7 미크론) 로 원, 사각형, 다각형 등 다양한 모양의 미세 패턴을 만들 수 있습니다. 의료· 청각· 음성기술 등에 사용되는 마이크로폰 어레이도 이 기계를 이용해 만들 수 있다. 정확성을 보장하기 위해 스테퍼는 ITA (Image Transformation Algorithm) 라는 알고리즘을 사용합니다. 이 알고리즘을 사용하면 스테퍼가 최소한의 노출 후 (exposure post-exposure) 계산으로 웨이퍼에서 원하는 패턴을 정확하게 예측하고 생성할 수 있습니다. 탁월한 정확도로 PAS 5500/90은 3D 인쇄와 같은 고급 나노 기술을위한 신뢰할 수있는 도구로 사용될 수 있습니다. ASML PAS 5500/90 은 빠르고 간편한 설치 및 유지 관리를 위해 설계되었으며, 사용자의 다운타임을 최소화합니다. Touch Screen 컨트롤이 포함된 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여, 필요에 따라 운영자가 설정과 매개변수를 신속하게 조정할 수 있습니다. 고급 기능과 견고한 설계를 통해, PAS 5500/90은 미세한 나노 구조 및 장치 제조에서 탁월한 성능을 제공합니다.