판매용 중고 ASML PAS 5500 / 8TFM-A #293817846
URL이 복사되었습니다!
ID: 293817846
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.55-0.80
DCO: 8
MMO: 17
Resolution: 110 nm
Throughput (WPH): 25.
ASML PAS 5500/8TFM-A는 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을하는 고도의 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 시스템은 집적 회로 (IC) 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치 생산의 핵심 구성 요소입니다. "스테퍼 '장치 는 세심 하게 설계 되어" 반도체' "웨이퍼 '의 정밀 한 무늬 와 정렬 을 보장 하여 고도 로 복잡 하고 밀도 로 포장 된 전자 부품 들 을 조성 할 수 있다. PAS 5500/8TFM-A의 뛰어난 기능 중 하나는 고급 이미징 기능입니다. 이 기계는 최첨단 광학 기술 (optical technologies) 을 활용하여 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 표면에 복잡하고 정밀하지 않은 패턴을 투사합니다. 이 고해상도 투사 도구는 오늘날 가장 고급적인 반도체 (Semiconductor) 장치에 필요한 매우 작은 기능을 달성하는 데 매우 중요합니다. 또한 ASML PAS 5500/8TFM-A (ASML PAS 5500/8TFM-A) 는 정교한 정렬 자산을 제공하여 웨이퍼에 여러 레이어 패턴을 정확하게 등록합니다. 이 정렬 기능은 소형 공간에 수억 개의 트랜지스터를 포함하는 다중 계층 IC (multi-layered IC) 를 만드는 데 필수적입니다. 서브미크론 (sub-micron) 정밀도에 따라 다양한 패턴 레이어를 정렬하는 모델의 능력은 최종 반도체 장치의 기능과 성능을 보장하는 데 매우 중요합니다. PAS 5500/8TFM-A는 이미징 및 정렬 기능 외에도 탁월한 처리량과 생산성을 제공합니다. 이 장비는 반도체 (반도체) 직물의 대용량 생산 요구사항을 처리할 수 있도록 설계되어 있어, 제조업체는 하루 수천 개의 웨이퍼를 생산할 수 있으며, 품질과 정확도는 일정합니다. 고급 자동화 기능과 지능형 소프트웨어 알고리즘을 통해 원활한 운영, 시스템 효율성 극대화를 실현할 수 있습니다 (영문). 또한 ASML PAS 5500/8TFM-A 는 전반적인 성능과 안정성을 향상시키는 다양한 혁신적인 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 노출 중 웨이퍼의 정확한 이동 및 위치를 설정할 수있는 고급 단계 제어 (Advanced Stage Control) 메커니즘이 포함되어 있습니다. 이 수준의 제어는 전체 웨이퍼 (wafer) 표면에 균일 한 노출을 달성하고 패턴 충실도 (pattern fidelity) 의 변화를 최소화하는데 필수적입니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 머신 (Wafer Stepper Machine) 은 다양한 운영 요구 사항에 맞게 구성 가능하고 적응할 수 있도록 설계되었습니다. 조그마 한 직경 에서 큰 "패널 '에 이르기 까지 다양 한" 웨이퍼' 크기 를 수용 할 수 있으며, 그 로 인해 제조사 들 은 여러 가지 반도체 제품 과 응용 프로그램 을 지원 할 수 있게 되었다. 이 도구의 유연성은 연구/개발 목적과 대용량 제조 (high-volume manufacturing) 를 위한 다용도 도구입니다. 또한 PAS 5500/8TFM-A는 최첨단 도량형 및 모니터링 시스템을 통합하여 일관된 성능과 품질 제어를 보장합니다. 에셋에는 주요 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 실시간으로 모니터링할 수 있는 센서와 진단 도구 (Diagnostic Tools) 가 장착되어 있어 운영 중 발생할 수 있는 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 전반적으로 ASML PAS 5500/8TFM-A 웨이퍼 스테퍼 모델은 반도체 산업에서 기술의 정점을 나타냅니다. 첨단 광학 기능, 정밀한 정렬 기능, 높은 처리량, 다재다능성 등으로 인하여 혁신의 경계를 넓히고 최첨단 마이크로일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 를 생산하려는 반도체 제조업체에게는 없어서는 안될 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다