판매용 중고 ASML PAS 5500 / 850D #293820736

ASML PAS 5500/850D는 고급 광학 리소그래피 기능과 고급 모션 제어 기술을 결합한 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. PAS 5500/850D에는 매우 높은 수치 조리개 (NA) 광 장비가 포함되어 있어 뛰어난 광학 성능과 통합 모션 제어 시스템이 제공됩니다. 광학 장치는 193nm KrF 엑시머 레이저를 사용하며, 최대 0.74의 NA 값으로 매우 높은 해상도를 제공합니다. 광학 기계에는 수차 교정기 (aberration corrector) 가 포함되어 전체 웨이퍼 표면에서 최적의 초점이 가능합니다. 광학 도구에는 반사 레이저 광을 줄이고 웨이퍼 처리량을 증가시키기 위해 반사 방지 표면 코팅 (antireflection surface coating) 도 포함됩니다. ASML PAS 5500/850D의 모션 제어 에셋은 스테퍼 모터, 서보 모터 및 드라이브 일렉트로닉의 조합을 사용하여 스테이지를 정확하게 배치하고 +/- 1õm 내의 위치를 유지합니다. 스테퍼 모터는 디지털 신호 프로세서 (digital signal processor) 에 의해 구동되며, 최대 0.1äm의 위치 정확도를 허용합니다. 서보 모터는 정렬 모델에 대한 선형 (linear) 및 회전 (rotational) 동작을 제공하며, 레일 세트를 따라 스테이지를 추적합니다. 드라이브 전자제품에는 Direct Drive Digital Amplifier가 포함되어 있어 최고의 정확성과 전력 효율성을 제공합니다. PAS 5500/850D에는 그래픽 사용자 인터페이스가 있는 사용자 친화적인 제어 장비도 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 시스템 설정 (setup) 을 쉽게 구성할 수 있고, 장치의 설정 (setup) 및 실시간 성능을 모니터링할 수 있습니다. ASML PAS 5500/850D는 매우 다재다능한 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 리소그래피 응용 프로그램에 뛰어난 해상도와 정확도를 제공합니다. 현대 반도체 연구 및 생산 환경을 위한 최고의 선택입니다.