판매용 중고 ASML PAS 5500 / 850D #293817847

ASML PAS 5500/850D는 반도체 장치 제작 및 석판 처리를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 폭넓은 와퍼 이미징 기능을 지원하는 다양한 옵틱 (optic) 구성을 갖춘 듀얼 스테이지 옵틱 (optic) 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 마이크로 리토그래피 (micro-lithography) 및 극자외선 (EUV) 광 노출을 포함하여 높은 정확성과 반복성을 가능하게 하는 고급 광학 부품을 사용합니다. 이 장치는 리소그래피 (lithography) 를 수행하는 가장 효율적이고 강력한 도구 중 하나로, 까다로운 반도체 (semiconductor) 장치를 위한 이상적인 솔루션입니다. 기본 기계는 두 단계로 구성됩니다. 마스크 검사 단계 (scan stage) 는 원하는 패턴을 투영하기 위해 스캔하고 웨이퍼는 마스크를 통해 UV 조명에 노출되는 노출 단계 (exposure stage) 입니다. 공구의 5 축 동작 단계는 최대 1 미크론의 이동 정확도를 제공하며, 최대 해상도 수준에서도 정밀한 빔 정렬을 허용합니다. 이 자산은 여러 가지 고급 기능을 활용하여 이미지 품질을 높이고 이미지 처리 시간을 줄입니다. 초고해상도 포토 데텍터 (photodetector) 를 통해 정확한 데이터 수집 및 후속 처리를 보장합니다. 또한 강력한 EUV 광원이 있으며 HAR (High Aspect Ratio) 패턴화와 Deep-UV 이미징에 올바른 에너지를 제공 할 수 있습니다. LCD (Liquid-Crystal Display) 프로젝션 모델은 연산자에게 시각적 피드백을 제공하므로 작업 및 조정을 쉽게 수행하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 자동 재료 처리 시스템 (automated material handling system) 을 사용하여 이미징 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼와 마스크를 관리합니다. 여기에는 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 (unloading) 를 위한 통합 시스템뿐만 아니라 샘플과 마스크를 노출 단계로 전송하는 로봇도 포함됩니다. 또한 라인업, 렌즈 선택, 패턴, 노출 및 기타 운영 매개변수를 제어, 관리, 모니터링하는 포괄적인 소프트웨어 솔루션이 제공됩니다. PAS 5500/850D는 단일 마스크 이미징, 듀얼 마스크 이미징, 짧은 웨이퍼 챌린지, 패턴 오버레이 등 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수있는 다양한 도구입니다. 이 시스템은 상업, 산업 및 연구 환경에 적합하며, 복잡한 리소그래피 프로세스를 지원하기 위해 빠르고 정확한 결과를 제공합니다. ASML PAS 5500/850D 는 고성능 칩 (chip) 을 생산하거나 새로운 석판화 기능을 탐색하는 것을 목표로 하고 있습니다.