판매용 중고 ASML PAS 5500 / 850C #293817849

ASML PAS 5500/850C는 매우 정밀하고 높은 생산성 웨이퍼 스테퍼입니다. 오늘날 반도체 제조업체의 지속적으로 증가하는 요구를 충족시키기 위해 설계, 제작되었습니다. 집적 회로, 메모리 칩 및 기타 다양한 복잡한 웨이퍼 레벨 IC를 생산하는 데 이상적입니다. 850C는 프로젝션 광학 장치 (projection optics unit) 와 고급 스캐닝 단계 (advanced scanning stage) 로 구성된 독점 빔 리소그래피 장비를 사용합니다. 낮은 kV, 높은 수치 조리개 (NA) 렌즈를 사용하여 우수한 해상도를 제공하며, 복잡한 웨이퍼 처리 중에도 칩 레이아웃이 무결성을 유지할 수 있습니다. 또한, 고강도 광원은 최고의 처리량과 최상의 이미징 결과를 보장합니다. 850C는 공중 이미지 감지, 자동 장애 분석, 다이 (in-die) 장애 검사 등 많은 결함 프로세스 검사 도구를 사용합니다. 웨이퍼 검사 중에 특허를받은 "쿼드 테크 (QuadTech)" 시스템은 공정 유발 결함에 대한 IC 및 광석기 공정과 관련된 모든 이상에 대한 IC를 평가합니다. 또한, 장치의 통합 모서리 검사 도구를 사용하여 나쁜 가장자리를 빠르게 감지 할 수 있습니다. 정확성 측면에서, 850C는 1nm 스텝 해상도와 +/-75nm 선형 정확도의 변위 인코더를 특징으로합니다. 통합 자동 초점 머신 (autofocus machine) 은 또한 최적의 웨이퍼 평탄성을 제공하여 잘못 정렬 또는 웨이퍼 표면 워프 프로파일의 영향을 최소화합니다. 견고하고 장기적인 성능을 제공하기 위해 850C는 확장 (extended) 슬리우 레이트 (slew rate) 옵션을 사용하여 고출력 칩이나 어려운 레이아웃 형상을 처리할 때에도 안정적이고 일관된 결과를 보장합니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 및 프로세스 모니터링 (process monitoring) 기능을 통해 수율을 쉽게 문제 해결 및 추적할 수 있습니다. 전체적으로 PAS 5500/850C는 뛰어난 해상도, 완벽한 결함 검사, 장기 성능을 제공하는 신뢰할 수 있는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 산업을 위한 완벽한 장치로, 소요 시간이 짧아져 양질의 결과를 얻을 수 있습니다.