판매용 중고 ASML PAS 5500 / 850 #9186902

ASML PAS 5500/850은 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 스테퍼 유형입니다. 그것 은 보통 집적 "회로 '의 생산 을 위하여" 웨이퍼' 의 꼭대기 표면 에 "패턴 '을 반복 하여 상상 하는 데 사용 된다. PAS 5500/850은 고급 옵틱, 높은 정확도 포지셔닝 시스템 및 정확한 웨이퍼 조작 메커니즘을 사용하여 반도체 웨이퍼에 이미지 다이를 사용합니다. 장비는 사전 정렬기 (pre-aligner) 와 정렬 기 (aligner) 와 스캔 거울 (scan mirror) 및 조리개 렌즈 (aperture lens) 로 구성되며 레이저 기반 마스크없는 소스 및 검출기와 함께 작동합니다. 사전 정렬자 (pre-aligner) 는 레이저 표시등과 이미지 인식 (image recognition) 을 사용하여 웨이퍼에 있는 다이를 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 사전 정렬자는 또한 다이 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 정렬기는 서보 구동 제어 시스템으로 더 높은 정확도를 달성합니다. 스캔 거울 (scan mirror) 과 조리개 (aperture) 렌즈는 광학 설정을 마스크없는 소스로 조정하고 패턴을 감지하는 데 사용됩니다. ASML PAS 5500/850에는 다양한 설정 및 제어 기능도 장착되어 있습니다. 그것 은 "와퍼 '에 있는" 다이' 를 정밀 하게 정렬 하기 위한 높은 정확도 단계 를 가지고 있다. 또한 웨이퍼 서피스의 라이트 바운스 오프를 줄이기 위해 반사 방지 코팅 (anti-reflection coating) 기능이 있습니다. 또한, 이 장치에는 이미지 포커싱을 자동으로 조정하여 이미지 해상도를 높일 수 있도록 하는 자동 초점 (auto-focus) 기능이 포함되어 있습니다. "포토리토그래피 '와 같은 공정 의 경우, 기계 에는" 스테퍼' 에 연결 된 부수적 인 "모듈 '이 들어 있다. 이 "모듈 '은" 마스크' 에서 "웨이퍼 '로" 패턴' 을 옮기는 데 사용 되는 저항력 을 발전 시키는 역할 을 한다. 또한, PAS 5500/850은 여러 웨이퍼 크기를 지원할 수 있으며, 이 도구에는 다른 크기의 웨이퍼에 대해 일관된 결과를 유지하기 위해 필요한 노출 용량을 조정하는 알고리즘이 포함되어 있습니다. 전반적으로 ASML PAS 5500/850 웨이퍼 스테퍼는 반도체 산업에 필수적인 하드웨어입니다. 여러 시스템과 기술을 결합하여 집적 회로 생산을 위해 안정적이고 정확한 이미징 (imaging) 프로세스를 제공합니다. 반도체 제조업체는 정교한 옵틱, 정확한 포지셔닝, 자동 포커싱, 조절 가능한 노출 용량을 활용하여 고품질 전자 부품을 만들 수 있습니다.