판매용 중고 ASML PAS 5500 / 80B #293817852
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ID: 293817852
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.48
Resolution: 500 nm
DCO: 60
Throughput (WPH): 70.
ASML PAS 5500/80B는 네덜란드 회사 ASML에서 만든 정교한 웨이퍼 스테퍼 시스템입니다. 석판 인쇄 공정을 위해 특별히 설계되었으며, 이는 마이크로 칩 생산의 필수 부분이되었습니다. 이 웨이퍼 스테퍼를 사용하면 매우 정확한 이미지를 얇은 반도체 웨이퍼에 출력할 수 있습니다. 이 시스템은 투영 렌즈, 웨이퍼 전송, 광학 테이블 등 여러 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 투영 "렌즈 '는 광학 수송" 테이블' 에 의하여 "웨이퍼 '위 로 편향 되는 좁은 광선 의 광선 을 만들어 낸다. "렌즈 '의 정렬 은 최적 의 영상 을 얻기 위하여" 시스템' 에 의하여 끊임없이 보정 된다. 웨이퍼 스테퍼는 웨이퍼 당 최대 10,000 개의 개별 노출 필드를 이미지화할 수 있으며, 노출 시간은 필드 당 2 ~ 3 초입니다. 즉, 최대 속도는 시간당 6 웨이퍼로 높은 생산량을 허용합니다. 또한 5500/80B의 해상도는 필드당 1568 x 2088 픽셀로, 이미징에 대한 탁월한 수준의 정확도를 제공합니다. 5500/80B는 매우 신뢰할 수있는 기계로, 반복 가능하고 일관된 운영 실행을 제공합니다. "렌즈 '는 구형 수차 교정 으로 뛰어난 성능 을 발휘 하며, 가능 한 최고 의 화질 의" 이미지' 를 만들어 내도록 설계 되었다. 또한 부드러운 웨이퍼 (wafer) 처리를 제공하며, 섬세한 조정과 오염 방지 기능이 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 의 사용자 인터페이스는 매우 사용자 친화적이며 모든 기능을 완벽하게 제어합니다. 직관적인 소프트웨어와 인체 공학 그래픽 사용자 인터페이스 (ergonomic graphical user interface) 를 통해 사용자는 쉽게 감광 마스크 패턴을 만들고 수정할 수 있습니다. PAS 5500/80B는 탁월한 이미징 정확도와 속도를 제공하는 뛰어난 기계입니다. 안정성이 높고 내구성이 뛰어나며, 지속적으로 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 탁월한 고객 지원 (Customer Support) 을 제공하며, 문제가 발생할 경우 기술 지원 담당자가 문의합니다.
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