판매용 중고 ASML PAS 5500 / 80 #9194835

ASML PAS 5500/80 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제품 생산을위한 최첨단 도구입니다. SMB (중소, 중견, 성장 기업) 프로젝트에 적합하며 광학 다이 스테핑 (Die Stepping) 및 사진 노출 프로세스를 정확하게 실행하여 매우 엄격한 생산 요구 사항을 충족합니다. 이 장비는 듀얼 필드 광학 시스템 (Dual Field Optical System) 을 갖춘 집적되고 컴팩트한 설계를 활용합니다. 이를 통해 웨이퍼를 이동할 필요 없이 동적 다이 레벨 (dynamic die level) 을 이미징할 수 있으므로 생산성이 향상되고 성능이 향상됩니다. ASML PAS 5500/80 웨이퍼 스테퍼에는 최첨단 저항과 오염 관리 장치가 장착되어 있어 정확도가 높고 안정적인 작동이 가능합니다. 이 기계는 광범위한 단계 및 반복 이미징 (repeat imaging) 을 제공하여 최대 필드 크기가 80 x 80 mm 인 복잡한 패턴을 달성합니다. 그것은 많은 습하고 건조한 프로세스와 호환되며, 매우 다재다능하며, 1X, 1.5X, 2X 및 4X 노출과 같은 광석판 프로세스에 사용될 수 있습니다. PAS5500/80 웨이퍼 스테퍼는 프로세스 환경 제어를 위한 고급 환경 감지 머신과 함께 자동 초점 지정 (auto-focusing) 및 자동 정렬 기능을 제공합니다. 기판 온도 수준이 낮은 정밀 노출 (precision exposure) 을 달성 할 수 있으며, 빠른 처리량 기능으로 인해 대용량 생산 프로세스에 적합합니다. 이 도구에는 안정된 저항 및 오염 관리를 위해 매우 정확한 디플렉션 측정 자산이 포함되어 있습니다. 이는 전체 제조 프로세스에 대한 정확성을 보장하는 데 도움이됩니다. 웨이퍼 스테퍼에는 중복 프로그램 보호, 잘못된 프로그램 선택, 프로세스 관련 사고 (process-related mishap) 와 같은 추가 보호 장치가 디자인에 통합되어 있습니다. ASML PAS5500/80 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 모델은 소음 수준이 매우 낮고 전원 공급 장치가 일정한 1개 이상의 클린 룸 클래스에 사용하도록 설계되었습니다. 운영 프로세스를 실시간으로 최적화할 수 있으며, 공장 자동화 (factory automation) 장비에 통합할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 디자인으로 모든 경험 수준의 엔지니어에게 이상적입니다.