판매용 중고 ASML PAS 5500 / 80 #9188719

ASML PAS 5500/80 포커스 어셈블리 스테퍼는 반도체 제작을위한 고급 웨이퍼 스테퍼로, 제조업체의 향상된 기능 크기 해상도 및 정확도를 제공합니다. 고속, 고밀도 웨이퍼 처리 장치로서 웨이퍼, 마스크, 기판 등 다양한 이미징 요소와 호환됩니다. 집적 회로 의 생산 및 개발 에서 흔히 볼 수 있는 이 "웨이퍼 스테퍼 '는 고해상도 투사 석판 사진 을 이용 하여 고속 과 정확도 로" 실리콘' "웨이퍼 '에 있는" 이미지' 를 얻는다. "스테퍼 '는 정교 한" 컴퓨터' 조절 장치 를 사용 하여 "와퍼 '위 에 있는 원하는" 패턴' 을 매우 정밀 하게 신속 하고 정확 하게 스캔 할 수 있다. 이 장치는 작은 유지 보수 (maintenance-free) 모터로 구동되며 냉각팬 (cooling fan) 은 프로세스 중에 웨이퍼 위로 냉각하는 공기를 제공합니다. 이 장치에는 미세 조정 된 광원과 5 축 스테이지로 완성 된 고해상도 투사 시스템이 장착되어 있습니다. 고급 센서 (advanced sensor) 기술을 활용하여 웨이퍼의 위치를 정확하게 측정하고 3방향 모두에서 해당 위치를 모니터링합니다. 이 스테퍼를 OPC 패턴과 함께 사용하면 더 작은 피쳐를 얻을 수 있고, 정밀도 (precision) 피쳐 크기에 대해 더 세밀하게 제어할 수 있습니다. 추가 기능에는 자동 끝 정지 (Automatic End Stop) 및 통합 전기 격리 장치 (Integrated Electrical Isolation Unit) 와 쉽게 작동할 수있는 펄스 액정 디스플레이가 포함됩니다. ASML PAS 5500/80은 최대 24 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 20 킬로그램의 물체를 처리 할 수 있습니다. 최대 스캔 속도 (초당 7500 단계) 와 최소 크기 해상도 (0.5 미크론) 를 자랑하여 처리 된 표면에서 복잡하고 미세한 디테일을 허용합니다. 스테퍼는 입자 오염을 최소화하고 완전한 클린 룸 호환성을 제공하도록 설계되었습니다. 능동 진동 제어 (Active Vibration Control) 는 효율적인 전기 아키텍처와 함께 장비의 기능도 향상시킵니다. 이 제품은 전력 소비를 최소화하면서, 확장 주기에 비해 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. PAS5500/80 은 매우 강력한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로서, 제조업체에 매우 정확하고 고정밀 부품을 제작하는 데 필요한 툴링 및 기능을 제공합니다. 경량, 소형 크기, 효율적인 디자인은 모두 산업 환경에서 유리합니다. 이 기계는 최소 시스템 다운타임으로 고품질 (High-Quality) 생산이 가능하도록 설계되어 비용 효율적이고 안정적인 반도체 생산 프로세스를 제공합니다.