판매용 중고 ASML PAS 5500 / 750F #293813387

ASML PAS 5500 / 750F
ID: 293813387
DUV scanner.
ASML PAS 5500/750F는 고급 photolithography 응용 프로그램에 사용되는 CNC (Computer Numerically Controlled) 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 고급형 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 기판에서 매우 고품질 이미지와 패턴을 제작할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계에는 PAMS (Positioning Accuracy Monitoring Equipment), 16 비트 해상도 및 시간당 최대 8 웨이퍼의 처리 속도가 있습니다. PAS 5500/750F는 150 미크론만큼 얇은 기판 재료에 사진 석판화 이미지를 정확하게 패턴화하고 배치 할 수 있습니다. 여러 CNC 기술을 결합하여 높은 정확도, 높은 처리량을 제공합니다. CNC 제어 시스템에는 위치 제어 알고리즘, 경로 보상 알고리즘, 경로 수정 알고리즘이 포함됩니다. 이러한 알고리즘을 사용하면 모서리 (edge) 에서 모서리 (edge) 로 기판에 이미지가 정확하고 일관되게 패턴화되고 선 배치 (line placement) 나 이미지 형상 (image geometry) 의 모든 변형이 자동으로 수정됩니다. 또한, 기판 처리 시간을 최소화하기 위해 스캐닝 경로 (scanning path) 를 최적화하여 처리량을 증가시키도록 설계되었습니다. ASML PAS 5500/750F 는 대규모의 고감도 시스템 비전 유닛으로, 시스템의 모든 모션 오류 또는 오작동에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 따라서 다운타임을 줄이고, 생성되는 패턴과 이미지의 정확성을 보장할 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 사용자는 기능, 기능을 손쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있으며, 잠재적인 문제를 진단하고 해결할 수 있습니다. 또한 PAS 5500/750F 는 다른 장치 및 시스템과의 통합이 용이하여, 자동화된 제조 환경에서 사용하기에 적합합니다. 이 도구는 공장 내 다른 장비 (예: 진단 및 도량형 장치, 로봇 공학, 기타 CNC 시스템) 에 연결할 수 있습니다. 이를 통해 고품질 이미지를 지속적으로 생성할 수 있는 완전 자동화 (Fully Automated) 에셋이 가능합니다. ASML PAS 5500/750F는 오늘날 시장에서 가장 발전된 CNC 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 정확도, 속도, 연결성을 결합하면 고밀도 사진 해설법 (photolithography) 응용 프로그램에 이상적인 선택이 됩니다. PAS 5500/750F 는 사용자 친화적인 인터페이스와 고속 운영 덕분에 운영 시간 단축, 비용 절감, 효율성 극대화에 도움이 됩니다.
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