판매용 중고 ASML PAS 5500 / 750F #293655012

ASML PAS 5500/750F는 반도체 장치 제작을위한 고급 사진 스테퍼입니다. 이 장비는 다양한 웨이퍼 이미징 어플리케이션에 대한 높은 해상도, 빠른 처리량, 정확도를 제공하는 사진 (photolithography) 도구입니다. PAS 5500/750F의 7nm 해상도는 반도체 업계에서 고품질, 매우 정밀한 레이아웃 생산에 이상적입니다. 스테퍼에는 정확하고 강력한 이미징을 제공하는 ArF 엑시머 레이저 소스 (excimer laser source) 와 같은 여러 가지 고급 기술이 장착되어 있습니다. 이 매우 정밀한 레이저 소스는 픽셀 크기를 7 nm 낮춰 이미지를 웨이퍼에 투사할 수 있습니다. ASML PAS 5500/750F는 또한 UV (Ultraviolet) 카메라와 다중 도메인 정렬기를 갖추고 있으며, 둘 다 패턴화에 뛰어난 정밀도를 제공합니다. 이 시스템은 몰입 미디어, 저항 (Resist), 마스킹 레이어 (Masking Layer) 와 같은 다양한 레이어 유형을 사용하도록 프로그래밍되었습니다. 또한, 이 스테퍼는 다양한 광파장을 사용하여 다양한 레이어를 패턴 화 할 수 있습니다. 여기에는 ArF (193nm), KrF (248nm) 및 I 라인 (365nm) 이 포함됩니다. ASML의 숙련된 엔지니어는 PAS 5500/750F '를 사용하여 맞춤형 솔루션을 개발합니다. 이 기계에는 멀티 노즐 로딩 장치 (multi-nozzle loading unit) 와 카세트 기반 웨이퍼 처리 메커니즘이 포함되어 있어 빠른 웨이퍼 전송과 웨이퍼 용량 증가가 가능합니다. 이 기계는 또한 스텝퍼 (stepper) 의 작동을 단순화하고 반도체 (semiconductor) 단계에서 일관성을 보장하고 패턴을 반복하는 직관적인 사용자 인터페이스와 함께 제공됩니다. ASML PAS 5500/750F는 또한 높은 공차 선형 장치를 특징으로하며, 이는 높은 정밀 정렬 및 오버레이 측정에 적합합니다. 또한, 강력한 이미징 제어 프로그램이 백그라운드에서 실행되어 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 및 기타 매개변수를 지속적으로 제어할 수 있습니다. 이 기능은 최종 제품의 전체 품질을 향상시키고, 까다로운 엔드 유저 (End Users) 의 기대가 항상 충족되도록 합니다. 전체적으로 PAS 5500/750F는 강력하고, 강력하며, 신뢰성이 높은 웨이퍼 스테퍼입니다. 즉, 이미징 머신의 고해상도 (high resolution) 와 고급 이미징 제어 (imaging control) 를 함께 사용하여 처리량, 정확도, 정확한 이미지, 패턴 배치 (pattern placement) 를 향상시켜 반도체 장치를 가장 정밀하게 제작할 수 있습니다.