판매용 중고 ASML PAS 5500 / 750E #293812100

ASML PAS 5500/750E는 반도체 생산의 요구와 과제를 충족시키기 위해 특별히 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 정확하고, 고해상도 포토리토그래피 및 웨이퍼 오버레이 어플리케이션에 최적화된 대형 몰입 투영 스테퍼입니다. 이 장비는 고성능, 고수율, 신뢰성 있는 반도체 장치 제조를 위해 고품질 감광 다이 (photosensitive die) 를 생산할 수 있습니다. PAS 5500/750E는 광학 하위 시스템, 화강암 베이스, 2 축 변환 단계 및 모터 지원으로 구성됩니다. 프로젝션 광학 시스템은 최대 1.2mm의 무한대 교정, 무단 고수 조리개, catadioptric objective 렌즈로 구성됩니다. 광학 서브 시스템에는 또한 레이저 간섭계와 통신 빔 스플리터 (telecentric beam splitter) 가 장착되어 있습니다. 또한 스테퍼에는 10X 카메라와 1.5mm 피치 해상도의 디지털 스테핑 스테이지가 장착되어 있습니다. 구조적 안정성과 진동 감쇠를 제공하는 화강암 염기 (granite base) 는 장치의 유연하지 않게 단단한 프로세스 제어에 필수적입니다. 번역 단계에는 피드백 리니어 모터가 포함되어 있으며, 0.5µm 반복 성과 5õm 직교 정확도의 디지털 모션 제어 머신 (digital motion control machine) 에 의해 구동됩니다. 모터 드라이브는 ASML 전자 장치 모듈 (ASML electronics module) 에 의해 제어되며, 이동의 두 축을 정확하게 제어하기 위한 실시간 변환 회로가 포함되어 있습니다. 모터 지원의 최대 전류 처리 용량은 5.5A입니다. 스테퍼의 제어 도구는 Linux 유형의 운영 자산을 기반으로하며 WRS (Wafer Recognition Model), 프로그래밍 가능한 패턴 링 레벨, 필드 시프트, 마스크 남용 보호 및 두 번째 연락처가 장착되어 있습니다. WRS 는 웨이퍼 크기와 두께를 식별하고 그에 따라 패턴 생성 설정을 조정합니다. 전반적으로 ASML PAS 5500/750E는 고급 옵틱, 정밀 모션 컨트롤 및 기타 기능으로 인해 매우 정확하고, 안정적이며, 생산성이 높은 고급형 Photolithography 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.