판매용 중고 ASML PAS 5500 / 750E #293809107
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ASML PAS 5500/750E는 집적 회로 생산에 사용되는 웨이퍼 스테퍼 (photolithography machine이라고도 함) 입니다. 그것 은 최대 75 "미크론 '의 해상도 를 가진 물체 를 생산 할 수 있는데, 이것 은 높은 정확도 와 속도 로 배선 과" 트랜지스터' 를 만든다. PAS 5500/750E는 일련의 단계를 통해 이를 달성합니다. 먼저, "웨이퍼 '가 무대 위 에 놓여 진공 상태 를 유지 한다. 그런 다음 이 단계를 수평 또는 수직으로 기계 광학에 정렬합니다. 스테이지가 올바르게 배치되면 ASML PAS 5500/750E의 호 모양 레티클 또는 마스크가 웨이퍼와 정렬됩니다. "마스크 '의" 아크' 모양 은 "웨이퍼 '의 윤곽선 을 따라가면서" 트랜지스터' 를 효과적 으로 분리 하고 "마스크 '에서" 웨이퍼' 로 "패턴 '을 옮길 수 있다. 그런 다음 PAS 5500/750E는 스테퍼 장비 (Stepper Equipment) 를 사용하여 전동 무대와 반사 조명 시스템을 사용하여 마스크를 웨이퍼에 정확하게 E를 배치합니다. 이 단계는 두 가지 방향으로 이동할 수 있습니다. 세타 축 (theta axis) 은 마스크를 회전시키는 반면, Z축 (Z축) 은 마스크를 위아래로 이동하여 다른 레이어를 손상시킵니다. ASML PAS 5500/750E에는 웨이퍼를 노출시키기 위해 UV 조명을 방출하는 UV 레이저 조명기도 있습니다. 이 조명은 호 모양의 마스크를 통해 필터링되어 특정 파장 만 통과 할 수 있습니다. 이 과정 은 여러 번 반복 되어, 필요 한 회로 를 만들기 위해 "칩 '의 각 층 을 노출 시킨다. 마지막으로, PAS 5500/750E 는 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 사용하여 전체 장치를 제어하고 레이어를 정확하게 인쇄합니다. 또한 이 소프트웨어는 인쇄 오류를 디버그하는 데 도움이 됩니다 (예: 이상). 전반적으로 ASML PAS 5500/750E는 마스크, 스테퍼 머신 및 UV 레이저 조명기를 결합하여 매우 정확하고 빠른 집적 회로를 만들 수 있습니다. 이를 통해 칩 제조업체에게는 강력하고 필수적인 도구이며, 고품질 제품을 생산할 수 있습니다.
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