판매용 중고 ASML PAS 5500 / 750D #293811828

ASML PAS 5500/750은 대용량 반도체 장치 제작을 위해 설계된 고성능, 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 4 열 또는 6 열 구성으로 균일 한 노출 및 스테퍼 동작을 제공합니다. 이 시스템은 노출 조절 시 고해상도 (High Resolution) 와 정확도 (Accuracy) 가 가능하며 광학 단계에서 반복 가능하다. 스테퍼는 2 개의 광 열과 1 개의 검출기와 1 개의 램프 모듈이있는 1 개의 축소 된 열로 구성 할 수 있습니다. 주 광학 기둥에는 6 개의 레이저 빔이있는 2 차원 스캐너 인 HexaScan 광학 모듈이 장착되어 있으며, 이는 기존의 4 빔 6 각형 스캐너에 비해 이미징 필드 크기를 5 배 증가시킵니다. 두 번째 열 은 "웨이퍼 '의 위치 와" 웨이퍼' 의 "패턴 '의 지형 을 검사 하는 데 사용 될 수 있다. 이 장치는 스테이지 스텝 앤 리피트 (Stage-and-repeat) 및 광학 암에 고급 닫힌 루프 제어 장치를 사용하여 부드러운 스캔을 수행합니다. PAS 5500/750은 다양한 이미징 기능을 갖추고 있으며, 현장 인식 현미경, 자동 교정, 프로세스 모니터링 및 자동 초점이 포함되어 있습니다. 이 도구는 정밀, 저전력, 균일 한 노출을 제공하여 최적의 성능을 제공하도록 설계되었으며, 광범위한 조명 설정 (lumination settings) 과 정확한 기능 탐지를 제공합니다. 또한, 에셋은 웨이퍼 (wafer) 에 대한 정확하고 일관된 정렬을 제공하고 오버레이 (overlay) 및 오정 (misalignment) 오류를 감지할 때 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 고속 생산 속도로 작동할 수 있으며, 드라이 진공 (dry vacuum) 및 액체 냉각 시스템 (liquid cooling system) 과 같은 여러 열 제어 옵션으로 구성하여 고성능 작동을 보장합니다. 이 모델은 다양한 속도로 디스플레이 (display field) 를 스캔 및 구동할 수 있으며, 시간당 최대 수천 개의 웨이퍼 (wafer) 를 사용할 수 있습니다. 스테퍼는 또한 신뢰할 수있는 처리 플랫폼을 갖추고 있으며 카세트 전송을 제공합니다. ASML PAS 5500/750은 강력하고 다용도 인 웨이퍼 스테퍼 (wafer) 장비로, 고품질 이미징을 제공하며 다양한 장치 제작 프로세스를 손쉽게 처리할 수 있습니다. 고급 제어 시스템, 정밀한 광 요소 (optical elements), 다중 운영 모드 (multiple operating mode) 덕분에, 이 장치는 여러 수준의 프로세싱에서 균일하고 일관된 노출을 제공할 수 있으며, 다른 시스템보다 더 높은 볼륨을 처리 할 수 있습니다. 신뢰성과 효율성을 갖춘 '시스템' 은 저렴한 비용으로 뛰어난 성능을 제공할 수 있습니다.