판매용 중고 ASML PAS 5500 / 700D #293655013

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ID: 293655013
i-Line scanner Chamber.
ASML PAS 5500/700D는 반도체 업계에서 집적 회로 (IC) 를 생산하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 처리량을 저하시키지 않고 칩에 매우 정교하고 정확한 기능을 제공합니다. PAS 5500/700D에는 CAD-to-mask 생성기, 프로젝션 광학 및 통합 스캔 이미징 기능이 포함되어 있어 반도체 리소그래피 프로세스가 가장 빠릅니다. 전체 레티클 필드 (reticle field) 를 패턴으로 스캔한 다음 웨이퍼 (wafer) 에 투영하여 최고 수준의 정확도와 디테일을 가진 IC (IC) 를 생성할 수 있습니다. ASML PAS 5500/700D의 중심에는 14 나노 미터 스팟 크기를 제공 할 수있는 고급 ASML 투영 광학이 있습니다. 이를 통해 가장 작은 피쳐 크기를 정확하게 생성 할 수 있으며, 종종 노드 번호의 1/10에 불과합니다. 패턴 생성기 (pattern generator) 는 또한 비선형 마스킹 (non-linear masking) 및 고급 조명 옵션 (advanced illumination options) 과 같은 몇 가지 혁신적인 기술을 사용하여 최종 제품의 피쳐 크기가 가능한 한 정확한지 확인합니다. 또한, PAS 5500/700D에는 자동화된 레티클 로더가 장착되어 있어, 레티클을 신속하게 변경하고 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 또한 ASML PAS 5500/700D에는 습식 코팅과 건식 코팅을 동시에 적용하여 웨이퍼에서 최고 품질의 코팅 (coating) 을 제공하는 전용 코터 시스템이 있습니다. 또한, 기계를 최적의 온도로 유지하여 최상의 성능을 제공하는 고급 냉각 시스템 (Advanced Cooling System) 을 통합합니다. 전체적으로, PAS 5500/700D는 탁월한 정확성과 처리량을 제공하는 강력한 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 첨단 기능 (Advanced Features) 과 기술 (Technologies) 을 통해 미세하고 정확한 기능을 생산해야 하는 모든 반도체 제조 공정을 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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