판매용 중고 ASML PAS 5500 / 700 #9046362

이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.

ID: 9046362
웨이퍼 크기: 3"-8"
Stepper / scanner, 0.15um DUV, 3"-8" Fully automated wafer handling system 2" with holders capable.
ASML PAS 5500/700은 반도체 부품을 제조하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 스테핑 장비입니다. 이 기계는 전문 제조업체 ASML (ASML) 이 개발했으며, 장치 제작자에게 구성 요소를 정확하게 제작하고 테스트할 수 있는 효율적이고 안정적인 수단을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 최첨단 옵틱 (optic) 과 전자 제품 (electronics) 을 활용하여 최고 품질의 반도체 부품을 생산하는 데 필요한 정밀성과 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 특허를받은 5 축 동작 디자인이 있으며, 여기에는 2 축 스캐닝 스테이지, 2 축 포지셔닝 스테이지 및 직접 드라이브 모터가 포함됩니다. 동작 단계에서 밸런스 가중치 (Balance Weight) 와 같은 중요하지 않은 요소를 제거하여 더 높은 정도의 정확도, 안정성, 향상된 작동 속도 (Operating Speed) 를 제공합니다. 또한, 전체 장치는 안정성 및 진동 댐핑 특성을 향상시키기 위해 공기 베어링에 장착됩니다. PAS 5500/700은 향상된 3D 이미지 분석 및 처리, 고성능 자동 렌즈 교정 기계, 고급 결함 분석 알고리즘 등 다양한 소프트웨어/이미징 기능을 통합하여 품질 관리 능력을 향상시킵니다. 또한 포괄적인 안전 (Safety) 기능과 모니터링 기능을 통해 포괄적인 데이터 로깅 및 검토를 통해 심층적인 실시간 프로세스 분석을 수행할 수 있습니다. 이 도구에는 자동 프로세스 수정 (automatic process correction) 이 포함되어 있어 외부 장애나 웨이퍼에 미치는 영향을 제거합니다. ASML PAS 5500/700은 사용자 친화적 제어 기능을 갖춘 매우 정확한 도구입니다. 통합 열 제어 (Thermal Control) 기능을 통해 자산을 안정적인 온도 범위 내에 두어 정확한 광/전자 성능을 제공합니다. 이 모델은 모든 서브시스템에 대한 완벽한 자가 모니터링을 통해 작동합니다 (예: 실시간 백업/업그레이드 기능). 실시간 원격 컨트롤은 또한 운영자에게 효율적인 모니터링 및 유지 관리를 위한 광범위한 시각화 (visualization), 데이터 수집 및 진단 도구를 제공합니다. 이 장비는 기술을 활용하여 장치 제조업체에 최상의 성능과 수율을 제공합니다. PAS 5500/700 (PAS 5500/700) 을 통해 반도체 부품 제조업체는 처리 시 안정적이고, 정확하며, 효율성이 높은 시스템을 보유하고 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다