판매용 중고 ASML PAS 5500 / 700 #293816709

ASML PAS 5500/700 시리즈 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 오늘날 반도체 산업의 실리콘 웨이퍼에서 정확한 석판 이미징에 사용되는 자동 기계입니다. 광학 리소그래피 (Optical Lithography) 프로세스를 사용하여 웨이퍼에 패턴을 노출시켜 집적 회로, 실리콘 칩 및 기타 반도체 제조에 필요한 마이크로 회로를 만듭니다. 이 스테퍼의 주요 특징 중 하나는 높은 수치 조리개 및 노출 유연성입니다. NA 또는 0.7의 숫자 조리개는 고해상도 이미징 및 더 세밀한 패턴을 가능하게합니다. 이것은 다양한 광학 렌즈 (optical lenses) 를 사용하여 노출 패턴을 집중하고 확대 할 수있는 조합 인 결합 된 조명기 (combined illuminator) 와 거울 장비 (mirror equipment) 를 사용하여 달성됩니다. 또한 4, 5, 6 및 8 인치 크기로 사용자 정의 할 수있는 노출 필드가 특징입니다. 이 웨이퍼 스테퍼에는 2 개의 객관식 렌즈 (감쇠 된 위상 이동 마스크 렌즈 및 이중 영역 조명 시스템이있는 복합 객관식 렌즈) 가 장착되어 있습니다. 감쇠된 위상 이동 마스크 렌즈는 자외선을 사용하여 웨이퍼 표면에 패턴을 만드는 반면, 이중 영역 조명 장치 (dual-zone illumination unit) 가있는 복합 대상 렌즈는 수차를 제어하면서 이러한 패턴을 증폭시킵니다. 이 배열을 통해 스테퍼는 패턴 충실도 (pattern fidelity) 와 이미징 깊이 (imaging depth) 측면에서 향상된 성능을 제공 할 수 있습니다. 이미징 성능 외에도 PAS 5500/700 시리즈 웨이퍼 스테퍼에는 고급 멀티 축 동작 제어 및 튜닝 머신도 있습니다. 이 도구는 스텝퍼가 정확한 트랙 이동 및 위치를 제공할 수 있도록 컨트롤러, 인코더, 모터 드라이버로 구성됩니다. 스테퍼에는 웨이퍼 이동을위한 XY 스테이지, 정확한 위치 지정, 고급 음성 코일 센서 (incremental focusing) 가 있습니다. 안전성과 신뢰성 측면에서, 이 웨이퍼 스테퍼에는 TEMIR 빔 스톱 및 호스 스톱 보안 자산, 팬 가드, 사격 제어 시스템, 온도 센서, 도어 마그넷 및 기타 안전 장치와 같은 여러 기능이 장착되어 있습니다. 마지막으로, 스테퍼는 CE 인증을 받았으며 설계, 성능, 산업 운영 측면에서 모든 안전 규정을 준수합니다. 전반적으로 ASML PAS 5500/700 시리즈 웨이퍼 스테퍼는 가장 까다로운 반도체 프로세스에 적합한 최적의 석판 이미징 성능을 제공합니다. 높은 수치 조리개, 노출 유연성, 고급 모션 컨트롤 (motion control model) 은 안전 및 신뢰성 기능과 함께 집적 회로, 실리콘 칩 및 기타 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다.