판매용 중고 ASML PAS 5500 / 60 #9275776

ASML PAS 5500/60은 반도체 집적 회로 제조에 사용되는 고해상도 웨이퍼 스테퍼입니다. 각 웨이퍼의 노출 시간을 줄여 정밀 리소그래피 (Precision Lithography) 프로세스를 보다 효율적으로 만들도록 설계되었습니다. "스테퍼 '는" 웨이퍼' 의 표면 에 빛 의 패턴 을 투사 하여 필요 한 모양 을 반출 하는 일 을 한다. ASML PAS 5500/60은 고급 6축 고해상도 화학 프로젝션 스테퍼입니다. 최첨단 옵틱 (optic) 과 스캐닝 (scanning) 기술이 적용된 스테퍼는 다양한 기능의 크기와 프로세스 기능을 갖추고 있습니다. 이 기하학은 높은 처리량과 반복 가능한 성능에 최적화되어, 품질 저하 없이 빠른 리소그래픽 사이클 (lithographic cycle) 을 가능하게 합니다. PAS 5500/60 스테퍼는 웨이퍼 표면에서 원하는 패턴의 매우 정확한 이미지를 생성하는 3 미러 이미징 시스템을 갖추고 있습니다. 이러 한 "이미지 '들 을" 웨이퍼' 의 정해진 위치 에 정확 하게 배치 함 으로써 "스테퍼 '는" 트랜지스터 게이트' 와 같은 매우 정밀 한 특징 들 을 원하는 모양 으로 분출 할 수 있다. PAS 5500/60에는 고급 자동화 및 제어 시스템도 장착되어 있습니다. 이를 통해 스테퍼 내의 웨이퍼 (wafer) 의 정렬 및 위치가 확고하고 일관성을 유지할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, "스테퍼 '는 정교 한 열 관리 기술 을 이용 하여 수술 내내 일정한 온도 를 유지 하며, 그 결과 가장 신빙성 있고 정확 한 리소그래피 (lithography) 과정 이 이루어진다. ASML PAS 5500/60 은 다양한 프로세스 요구 사항을 지원할 수 있으므로 반도체 웨이퍼 (wafer) 제조에서 대용량 생산에 적합합니다. 고해상도 (Optic) 및 자동 제어 시스템은 모든 노출이 가능한 한 정확하고 깨끗하여 재작업의 필요성을 줄여줍니다. 마지막으로, 스텝퍼의 폭넓은 노출 범위와 더 빠른 웨이퍼 스캐닝 (wafer scanning) 옵션을 통해 업계 규모의 리소그래피 어플리케이션을 위한 강력하고 비용 효율적인 선택이 가능합니다.