판매용 중고 ASML PAS 5000 / 55A #9233748

ASML PAS 5000/55A는 반도체 장치 기능을 제작하기 위해 고급 기술을 사용하는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 매우 정확한 웨이퍼 기능을 대량 생산하도록 설계되었으며 고급 5축 다방향 플랫폼 (Multi-Directional Platform) 과 실내3D (In-Chamber 3D) 장치 포지셔닝 시스템으로 구성됩니다. 그것은 최대 1 미크론의 정확도로 척에 300mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 장치에는 정확한 에지 감지 및 기능 정렬을 위한 고해상도 32비트 이미지 프로세서가 장착되어 있습니다. 개방, 경계없는 (borderless), 채워진 (filled) 또는 역방향 (reverse) 패턴을 포함한 다양한 패턴화 기능을 제공합니다. 연속, 분할 또는 다중 분할 패턴; 하나와 두 개의 레이어 디자인; 그리고 한 단계 또는 순차적 노출. 기존 피쳐를 복제하거나, 새 피쳐를 생성하는 데에도 사용할 수 있습니다. 기계는 864 단계 모터를 가지고 있으며, 이는 차원의 정확도와 속도를 정확하게 제어합니다. ASML PAS 5000/55 A에는 사용자에게 친숙한 소프트웨어와 하드웨어 구성 요소를 모두 포함하는 포괄적인 운영 도구가 있습니다. 사용자가 에셋을 설정하고 제어하고, 패턴 시뮬레이션을 수행하고, 포토마스크를 생성할 수 있습니다. 하드웨어는 5축 다방향 플랫폼, 챔버 내 3D 장치 포지셔닝 모델, CPU 및 메모리 유닛, 고해상도 이미지 프로세서로 구성됩니다. 장비의 고급 광학에는 자동 초점 및 자동 정렬 기능이 장착 된 반면, 이미징 시스템은 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 를 제공합니다. 또한 이더넷을 통한 고속 데이터 전송을 허용합니다. PAS 5000/55A 는 대부분의 웨이퍼 (wafer) 제조 프로세스와 호환되며, 높은 정확도와 신뢰성을 가진 반도체 디바이스를 생산할 수 있습니다. 이 장치는 모든 유형의 사용자 (기술 경험이 최소화된 사용자, 숙련된 운영자) 를 위해 설계되었습니다. 설치하고 사용하기 쉽습니다. 성공적인 운영을 위해 포괄적인 설명서, 자습서 및 고객 지원을 이용할 수 있습니다. 이 기계는 탁월한 제조 경험을 제공하여, 고품질 반도체 장치를 빠르고 효율적으로 생산할 수 있습니다.