판매용 중고 ASML PAS 5500 / 500 #293817858
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ID: 293817858
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.4-0.63
Resolution: 220 nm
DCO: 45
Throughput (WPH): 96.
ASML PAS 5500/500은 반도체 리소그래피 장비 및 시스템 제조업체 인 ASML에서 만든 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 집적 "회로 '제조 에 사용 할 수 있는 얇고 정밀 한" 회로' 층 을 만드는 데 사용 된다. PAS 5500/500 (PAS 5500/500) 은 차세대, 고급 반도체 기술을 개발하는 데 중요한 요소입니다. ASML PAS 5500/500은 광학 구성 요소를 x-ray 정렬 레이저 장비와 통합하는 데 사용되는 도구입니다. 이를 통해 기계는 0.25 m 해상도의 상한 (upper limit) 과 웨이퍼 표면의 균일 한 패턴화를 달성 할 수 있습니다. in-situ 모니터링 시스템은 stepper 구성 요소를 매우 정확하게 배치합니다. 이 스테퍼는 또한 고해상도, 다중 레벨 리소그래피 기능을 갖춘 최신 광학 이미징 기술을 갖추고 있습니다. PAS 5500/500에는 고정밀 행성 단계와 강력한 2 차원 모터가 장착되어 있습니다. 이를 통해 노출 시간, 정확한 마스크 및 웨이퍼 정렬이 정확하게 최적화됩니다. 스테퍼는 또한 최신 이미지 선명화 장치 (image sharpen unit) 를 사용하며 다양한 노출 작업을 처리 할 수 있습니다. ASML PAS 5500/500은 신뢰성이 높고 견고한 기계로, 수명은 최대 10 년입니다. 가동 중 진동을 감소시키는 전자 제어 전기 기계적 디핑 메커니즘을 가지고 있으며, 윤활이 필요하지 않습니다. 안전 측면에서, PAS 5500/500은 안전한 비상 정지 기계 (Emergency Stop Machine) 와 엄격한 온도 및 습도 제어를 제공하는 종합적인 환경 보호 기능을 갖추고 있습니다. 또한 스테퍼 (stepper) 및 연관된 컴포넌트의 효율적인 작동을 가능하게 하며, 효율적인 작동을 통해 잠재적 인 손상 및 청소실 오염의 위험을 모두 줄일 수 있습니다. 전반적으로 ASML PAS 5500/500은 매우 효과적이고 신뢰할 수있는 리소그래피 스테퍼입니다. 업계 최고 수준의 해상도를 자랑하는 인사이트 (in-situ) 모니터링 및 이미지 선명화 (image sharpen) 기술과 함께 효과적으로 최적화된 노출 시간을 제공합니다. 이 장치는 안전하고, 견고하며, 신뢰성이 뛰어나며, 진동과 긴급 정지 (emergency stop) 도구를 줄이는 전기역학적으로 디핑 메커니즘으로 안전합니다. PAS 5500/500 (PAS 5500/500) 은 고급 반도체 제조 업계에서 사용할 수 있는 얇고 정밀한 회로 계층을 만드는 핵심 요소입니다.
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