판매용 중고 ASML PAS 5500 / 500 #293814112

ASML PAS 5500/500은 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼 도구입니다. 다양한 반도체 부품에 대해 매우 정확한 미세 구조를 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 정렬 및 이미징 장비를 사용하여 자외선 (자외선) 패턴을 반도체 웨이퍼에 노출시킵니다. VSS (Variable Symmetry System) 는 투사된 이미지의 모양, 시야의 크기, 포토마스크 유형 등의 요소를 조정할 수 있는 유연성을 제공하는 강력한 조명단위인 VSS (Variable Symmetry System) 를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 각각 여러 개의 렌즈와 별도의 정렬 기계가 포함 된 4 개의 광 시스템이 있습니다. 각 도구는 서로 다른 조건에서 안정적이고 반복 가능한 정렬 정확도를 제공하도록 독립적으로 조정할 수 있습니다. 에셋은 또한 정확하고 일관된 석판 공정을 보장하기 위해 낮은 왜곡 투영 렌즈를 특징으로합니다. 또한 PAS 5500/500 에는 고급 스캐닝 모델이 포함되어 있어, 대형 필드, 하위 필드, 소형 형상 등 다양한 레이아웃 형태에 대한 고해상도 이미징이 가능합니다. 또한 스테퍼의 반복 가능한 동작을 사용하여 여러 시야를 정확하게 추적합니다. 또한, ASML PAS 5500/500에는 신뢰할 수있는 진공 클램핑 기술이 장착되어 있어 노출 과정에서 웨이퍼 왜곡을 방지합니다. 이 도구에는 또한 통합 OCR 판독 장치 (readout equipment) 가 포함되어 있어, 각 웨이퍼의 여러 바코드를 쉽게 읽어 자동으로 처리할 수 있습니다. 결론적으로, PAS 5500/500은 현대 반도체 제작의 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력하고 정확도가 높은 웨이퍼 스테퍼 도구입니다. 고급, 고해상도 광학 및 스캔 시스템은 미세한 기능과 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 클램핑 (clamping) 을 정확하고 반복적으로 생성 할 수 있습니다.