판매용 중고 ASML PAS 5500 / 400D #9296950

ASML PAS 5500/400D는 고도로 기술적인 웨이퍼 스테퍼로, 매우 많은 양과 높은 처리량 반도체 칩 생산에서 작동하도록 설계되었습니다. PAS 제품군의 일부인 이 스테퍼는 최신 ASML 설계 PAS5m 스캐너, 180nm 해상도 및 7nm 깊이의 큰 초점 (focus) 과 같은 고급 기술을 갖춘 최첨단 석판 장비입니다. 이 시스템은 최고 스캐닝 속도 (시간당 15,000 웨이퍼) 로 최고 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 스캔 속도는 초당 70nm입니다. 이를 통해 처리량을 극대화하여 다이 당 비용을 줄일 수 있습니다. 이 장치는 최소 수준의 아웃가스 (outgassing) 기능을 통해 결함 발생을 최소화하면서 깨끗하고 정확한 프로세스를 제공합니다. 대형 논리 칩, 임베디드 회로 및 머신 온 칩의 생산에 이상적입니다. 선형 너비 기능은 뛰어나며 뛰어난 기능별 균일성과 반복성을 자랑합니다. 또한 고급 표면 도량형 (Advanced Surface Metrology) 및 정교한 측정 기능을 통해 정확한 패턴 등록 및 우수한 오버레이 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 각각 한 쌍의 선형 모터 (linear motor) 에 의해 구동되는 2 개의 광학 스캐닝 단계를 특징으로하며, 반복 가능한 정확도로 중요한 구조를 제조하도록 설계 및 작동합니다. 또한 여러 고급 정렬 및 프로세스 제어 패키지도 포함되어 있습니다. 이를 통해 짧은 주기 시간과 최대 정밀도가 가능합니다. ASML PAS 5500/400D 는 모델 사용자 정의를 위한 다양한 옵션을 통해 많은 고객 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 여기에는 오브젝티브 렌즈, 건식/습식 청소 작업 및 스테이지 정확성에 대한 다양한 선택이 포함됩니다. 라인업을 완료하기 위해 모델은 EUV 및 기존 ArF 광원에 모두 최적화되었습니다. PAS 5500/400 D는 대용량, 정확한 칩 생산을 위해 설계된 인상적인 고급 스테퍼입니다. "마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) '생산수준에서 우수한 성능과 뛰어난 반복성이 요구되는 반도체 제조업체의 기대치를 충족시키거나 능가한다.