판매용 중고 ASML PAS 5500 / 400D #293829889

ASML PAS 5500/400D는 전자 부품 제조 방식에 혁명을 일으킨 고급형 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 최대 0.25 미크론 (micron) 의 해상도를 가진 웨이퍼 (wafer) 표면에 자외선 노출 패턴을 정확하게 투영하는 고도의 석판화 도구를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 기본 석판 플랫폼과 관련된 오버헤드를 최소화하면서 고속 정렬, 산란 및 이미징 기능에 액세스 할 수있는 Nopol (Nano-Polygon Array Scanner) 플랫폼을 기반으로합니다. 다양한 노출 수준을 처리 할 수 있으며, 대형 웨이퍼 크기에 대해 매우 정확한 시야 (field-of-view) 를 제공합니다. 이 시스템은 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 자동화된 패턴 포지셔닝이 가능한 디지털 정렬 장치 (digital alignment unit) 를 통해 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 또한, 높은 공정 생산량 을 달성 하기 위하여 광전자 (photoresist), 용제 (solvent), 화학 물질 (chemicals) 과 같은 광범위 한 사진 식자술 작업 유체 를 사용 할 수 도 있다. 또한, 이 도구는 오류 빈도와 범위를 줄이는 재조합 변조기를 통합합니다. 또한 용량 (dose), 포커스 (focus), 샷 레벨 (shot level) 과 같은 매개변수를 자동으로 조정하여 웨이퍼 표면에 짝수 노출되도록 노력하는 닫힌 루프 제어 머신 (closed loop control machine) 이 있습니다. 마지막으로, ASML PAS 5500/400D는 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 구현하여 운영자가 쉽게 설정을 사용자 정의하고 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 즉, 생성된 데이터를 다양한 형식으로 손쉽게 익스포트할 수 있으므로 프로세스 성능을 모니터링할 수 있고, 발견된 결함을 보다 쉽게 분석할 수 있습니다 (영문). 이를 통해 운영자는 매개 변수를 검토하고, 세밀하게 조정한 설정을 조정하고, 필요에 따라 변경 사항에 신속하게 대응할 수 있습니다. 전반적으로, PAS 5500/400 D는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼로, 전례없는 속도와 정확도로 전자 부품을 정확하게 제작할 수 있습니다. 이를 통해 신뢰할 수 있는 고성능 전자 부품 (electronic component) 을 생산할 수 있는 이상적인 툴로서, 여러 애플리케이션에서 사용할 수 있습니다.