판매용 중고 ASML PAS 5500 / 400C #293655011

ASML PAS 5500/400C는 반도체 산업을 위해 ASML (Applied Scanning Technologies) 에서 개발 한 웨이퍼 스테퍼입니다. ASML PAS 5500/400 C는 깊은 자외선 조명기를 사용하여 다중 계층 집적 회로 (multi-layer integrated circuit) 를 생산하기 위해 설계된 단계 및 반복 석판 도구입니다. FPA (Focal Plane Array) 기술은 높은 이미지 품질과 높은 처리율을 제공합니다. 이 기계는 고해상도를 유지하면서 65nm x 65nm 도메인 크기에서 최대 1.2M 안경/분까지 스캔 할 수 있습니다. PAS 5500/400C 장비에는 스캔 헤드 및 조명기가 내장되어 있으며 PCS (Proximity Correction System) 가 내장되어 있어 매우 정밀한 웨이퍼 정렬 및 추적 가능한 제어가 가능합니다. 내장 조명기는 13.4nm 파장 노출을 위해 레이저 다이오드 펌핑 된 Aron Fluoride (ArF) 레이저 기술을 사용합니다. 높은 균일성 및 최고 밝기 기능을 제공하는 효율적인 멀티 블랭킹 소스를 갖추고 있습니다. PAS 5500/400 C는 독특한 Hybrid Astigmatism 하위 장치를 사용하여 왜곡을 줄이고 "피크 정밀 교정" 을 가능하게합니다. 이렇게 하면 프로세서 시간이 단축되고 스캔된 이미지의 충실도가 향상됩니다. ASML PAS 5500/400C는 또한 "Dual-Pass" 및 "Double-ArF" 노출 기술과 같은 여러 구성 요소를 동시에 사용하여 경쟁 노출 시간과 고해상도를 제공합니다. ASML PAS 5500/400 C 머신에는 고해상도 3D 매핑 옵션이있는 고급 도량형 기능도 있습니다. 패턴 배치 정밀도 (pattern placement accuracy), 오버레이 정밀도 (overlay accuracy) 및 웨이퍼 오버레이 (wafer overlay) 등록과 같은 피쳐를 전체 범위의 웨이퍼 크기에 대해 측정할 수 있습니다. 이 도구에는 표준 프로세스 레시피 라이브러리가 제공됩니다. PAS 5500/400C는 반도체 업계의 까다로운 요구 사항에 적합한 다재다능하고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 화질, 생산성, 해상도, 도량형 기능을 제공하여 24/7 일괄 제작 시 통합에 이상적입니다. 탁월한 가격 대비 성능, 검증된 신뢰성 및 긴 서비스 수명을 자랑합니다. PAS 5500/400 C 웨이퍼 스테퍼는 광범위한 제품을 위한 완벽한 제조 솔루션입니다.