판매용 중고 ASML PAS 5500 / 400B #293817860

ASML PAS 5500/400B는 반도체 사진 해설을 위해 설계된 침수 스테퍼입니다. 집적회로 "칩 '에서 매우 정확 한" 패턴' 을 만들어 내는 데 이상적 인 선택 이다. 이 최첨단 머신의 고급 광학 및 기계 기술은 서브 미크론 (sub-micron) 및 나노미터 스케일 제품에 이상적입니다. PAS 5500/400B는 공기 베어링 스테이지가 장착 된 고성능 스캔 형 스테퍼를 제공합니다. 스캐너에는 고정밀 서보 루프 제어 및 향상된 HeNe 레이저 자동 조절기 간섭계가 있습니다. 이 기계는 또한 고급 이미지 평가 프로그램, 높은 정확도 및 뛰어난 정렬을 제공합니다. 높은 처리량, 빠른 공간 폭 (측면 각도) 생성이 가능하며, 라멜라 패턴 응용 프로그램에서 좋은 대조를 제공합니다. ASML PAS 5500/400B 는 프로토 타입을 위해 긴 노출 실행에 필요한 것부터 고수율 (High Yield Production) 및 최대 처리량을 위해 짧은 노출 시간이 필요한 것까지 다양한 노출 프로그램을 이용할 수 있습니다. 또한 최대 8 인치 직경의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 5 미크론 정도의 다이 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 모든 필드 크기에 걸쳐 균일하고 정확한 노출 성능을 제공합니다. 이 크리스탈 플랫 옵틱 (crystal-flat optics) 은 모든 필드 크기에 걸쳐 뛰어난 초점 깊이를 제공하는 반면, 자동 초점 시스템은 노출 중 초점 조건을 최적화합니다. PAS 5500/400B는 매우 복잡한 집적 회로 패턴을 위해 매우 정밀하고 집중적으로 설계되었습니다. 생의학 기판뿐만 아니라 VLSI 및 메모리 칩 생산에 이상적인 선택입니다. 또한 플립 칩 (flip chip) 응용 프로그램에 적합하며 마스크없는 미세 선 패턴화에도 적합합니다. 이 기계는 최대 정확성과 반복성을 제공하여 여러 웨이퍼 런에서 정확한 패턴을 보장합니다. 또한 컴팩트 한 디자인으로 진동을 최소화하면서 높은 처리율을 허용합니다. 벡터 데이터 입력 및 오버레이 보정을 위한 주변 장치 컨트롤러는 처리 중에 유연한 작동을 제공합니다. 결론적으로, ASML PAS 5500/400B는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼로, 집적 회로의 매우 정확한 패턴화를 위한 탁월한 성능을 제공합니다. 고도의 정밀 스캔, 뛰어난 패턴 균일성, 유연한 작동으로 인해 고도의 정밀 석판화 생산 프로세스에 이상적인 선택이되었습니다.