판매용 중고 ASML PAS 5500 / 400 #293817861

ASML PAS 5500/400은 대량의 마이크로 리토 그래피 구성 요소 생산을 위해 설계된 고정밀 5 축 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 Koch/Oerlikon 특허 스캐닝 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼 표면을 정확하게 스캔하여 빠른 스캐닝 기능이 내장 된 반도체 컴포넌트의 패턴을 형성 할 수 있습니다. PAS 5500/400 (PAS 5500/400) 은 혁신적인 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 장비를 통해 정확한 웨이퍼 처리 및 정렬 기능을 제공하며 스테퍼의 스캐닝 속도와 가속을 정확하게 제어합니다. 이 스테퍼는 또한 정확하고 반복 가능한 모터 컨트롤 (motor control) 을 특징으로하며, 스캐닝 속도 및 가속의 정확한 지침과 적응적인 보상을 통해 일관되게 정확하고 반복 가능한 스캔 패턴을 허용합니다. 안정된 웨이퍼 처리 및 정렬 (stable wafer handling and alignment) 을 위해 스테퍼에는 척 (chuck) 을 움직이는 테이블에 정확하게 정렬하는 고급 자동 액추에이터 시스템이 있습니다. ASML PAS 5500/400의 광학 장치는 매우 높은 정확도와 300MM (12 인치) 초점 필드 크기를 위해 설계되었습니다. 최대 오버레이, 피치, 초점 및 선형 정확도를 가진 서브 미크론 레벨 패턴을 생산하도록 설계되었습니다. 또한 노출 및 초점 변동성을 정확하게 최적화 할 수있는 조정 가능한 광학 머신 (optical machine) 이 있습니다. 또한 클러스터 레벨 네트워킹 기능 (Cluster Level Networking Capability) 을 통해 자산 상태, 데이터에 대한 원격 액세스 및 모델 장애 시 스테퍼의 원격 작업 및 제어 (Control of the model failure) 를 수행할 수 있습니다. 이 외에도 스테퍼 (stepper) 에는 최적의 작동을 위해 스테퍼 (optical 및 motor performance) 구성 요소를 진단할 수 있는 진단 기능이 내장되어 있습니다. PAS 5500/400 은 운영 환경에서 사용하기에 이상적이며, 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있는 결과를 제공하므로, 복제 시간과 시간을 다시 얻을 수 있습니다. 첨단 기능과 설계를 통해 다양한 어플리케이션, 사용자 친화적 인터페이스, 네트워킹 (Networking) 기능이 가장 적합합니다.