판매용 중고 ASML PAS 5500 / 300C #9138482

ASML PAS 5500/300C는 반도체 장치 제조에 사용되는 석판화 장비의 주요 공급 업체 인 ASML의 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. ASML PAS 5500/300C는 0.10 미크론 미만의 해상도를 갖춘 고해상도 리소그래피 (lithography) 를 제공하여 제조업체는 트랜지스터 및 기타 소형 기능과 회로를 갖춘 마이크로 전자 장치를 생산할 수 있습니다. PAS 5500/300C의 고급 기술은 202 ~ 193 나노 미터의 파장에서 작동하는 깊은 초보라색 (DUV) 렌즈로 구성되어 다른 스테퍼에서 발생하는 반사의 패턴화 효과를 줄입니다. 시스템의 광학은 두 개의 거울 (mirror) 과 격자 (grating) 로 구성된 이진 (binary) 설계를 기반으로하며 스테퍼 사용자는 정렬 조정을 용이하게 하여 오프 축 (off-axis) 수차를 수정할 수 있습니다. 이 시스템에는 x, y 및 z 방향의 변위를 0.1 나노미터 정밀도까지 측정하는 고성능 정렬 센서가 장착되어 있어, 잘못된 정렬 오류가 발생하지 않습니다. PAS 5500/300C는 안정성과 고성능을 위해 제작되었습니다. 시간당 600 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 리소그래피 정확도는 +/- 0.5 미크론입니다. 이 시스템은 XOR (Exposis Optical Reduction) 기술을 사용하여 마크 크기를 최대 50% 줄여 처리량을 증가시킵니다. 또한 PulsarTM 전자 인터페이스를 통합하여 생산성과 정확성을 높입니다. ASML PAS 5500/300C 는 모든 운영 작업 후에 유지 보수가 필요하지 않으므로 매우 경제적인 솔루션입니다. ASML PAS 5500/300C 는 기존 반도체 프로세스 툴과 호환되며, 이를 통해 고객은 최신 석판화 기술을 설치, 업그레이드할 수 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 고급 기능으로 설계되었으며 복잡한 기능을 갖춘 칩 개발에 이상적입니다. PAS 5500/300C (PAS 5500/300C) 는 초소형 기능으로 칩을 제작하기 위한 완벽한 솔루션으로 최첨단 장치 생산에 이상적인 도구입니다.