판매용 중고 ASML PAS 5500 / 300C #293802068

ASML PAS 5500 / 300C
ID: 293802068
Stepper.
ASML PAS 5500/300C는 사용자가 마이크로프로세서 및 기타 집적 회로 (integrated circuit) 형태로 복잡한 집적 설계를 정확하게 패턴화 할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이것 은 필요 한 "마스크 '수 를 줄여 보다 정확 한" 패턴' 을 정의 할 수 있게 해 주는 고급 석판화 장치 이다. ASML PAS 5500/300C는 광범위한 노출을 위해 고급 프로젝션 광학 시스템을 사용합니다. 이 장치는 1050mm 반경의 곡률과 0.75의 숫자 조리개를 가진 강력한 200mm (8 인치) 렌즈를 사용합니다. 이것은 0.25 마이크로 미터 (0.00001 인치) 의 해상도로 매우 상세한 이미징을 가능하게합니다. PAS 5500/300C에는 웨이퍼 유형을 빠르고 쉽게 변경하는 데 사용되는 저항 매거진 머신도 있습니다. 직경 2.5 인치에서 12 인치까지 여러 웨이퍼 크기를 지원할 수 있습니다. 이 도구는 강성 및 정밀 정렬을 위해 화강암 베이스를 기반으로하며, 이미징 정확도를 향상시키기 위해 오일 침수 스캐너를 포함합니다. PAS 5500/300C는 이미징 평면에 대한 기판을 정확하게 정렬하기위한 고급 자동 공조 자산입니다. 정밀도 향상으로 설정 시간이 대폭 단축되어 비용 절감, 고객 만족도 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 또한 ASML PAS 5500/300C 에는 추가 수작업 없이 웨이퍼 로드 및 언로드를 자동화할 수 있는 통합 로더/언로더 (loader/unloader) 모델도 포함되어 있습니다. 이 통합 장비는 생산 프로세스를 단순화하고 비용을 절감합니다. ASML PAS 5500/300C는 대용량, 고밀도 리소그래피 응용 프로그램에 이상적인 견고한 시스템입니다. 저항력 있는 잡지 스타일의 처리 (resistive magazine style handling), 자동 조절 장치 (auto-collimation unit) 와 같은 고급 기능을 통해 효율적이고 안정적인 방법으로 고품질 집적회로를 생산할 수 있습니다.
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