판매용 중고 ASML PAS 5500 / 300 #9188016

ASML PAS 5500/300은 리소그래피를위한 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 광학 프로젝션 프린터로, 고출력 광원 (high power light source), 정밀 광학 요소 (precision optic elements) 및 미리 정해진 이동 패턴을 따르는 스테이지 장비로 구성됩니다. "웨이퍼 '스테퍼' 는 먼저" 웨이퍼 '를 감광 물질 이라고 하는 감광 물질 로 코팅 함 으로써 작용 한다. 그런 다음, 컴퓨터 생성 패턴을 포함하는 대규모 마스크가 광원과 웨이퍼 사이에 배치됩니다. 광원 은 "웨이퍼 '에 돌출 되는" 패턴' 을 비추게 한다. 그런 다음 정밀 스테이지 시스템 (precision stage system) 은 마스크와 관련하여 웨이퍼를 이동하여 초점과 위치가 미세한 변경 (minute change) 을 통해 각 연속 이미지가 정확하게 전송되도록 합니다. 이러 한 종류 의 정밀도 는 "웨이퍼 '가 연속적 인" 패턴' 으로 투영 되므로 조그마 한 회로 요소 들 을 정렬 시키는 데 중요 하다. ASM ASML PAS 5500/300의 경우, 고급 Piezo 결합 동작을 사용하면 정확도가 보장됩니다. 이 장치는 항상 스테이지 머신의 정확한 위치와 속도를 세밀하게 조정하여 압력 컨트롤러 (pressure controller) 나 큰 이동 질량 (large moving mass) 에 의존하지 않고 최고 수준의 정확도를 보장합니다. 인상적인 정확성 외에도 PAS 5500/300에는 독점적 인 이중 주파수 (DFL) 이미징 방법이 있습니다. 이 방법은 완전히 독립적 인 2 개의 이미징 시스템을 한 축으로 결합하여 노출 시간 (imposure time) 을 증가시켜 보다 효율적인 사진 해설을 초래합니다. 결론적으로 PAS 5500/300은 사진 해설을 위해 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 피에 조 (Piezo) 의 모션과 이중 주파수 이미징 (double frequency imaging) 을 결합한 ASML은 최고의 정확도가 필요한 모든 응용 프로그램에 완벽한 선택입니다.