판매용 중고 ASML PAS 5500 / 300 #293817868

ASML PAS 5500/300은 ASML에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 자동화되고 신뢰할 수있는 공정의 단일 웨이퍼 (wafer) 에서 정밀 마이크로 서큐트리 (microcircuitry) 제품을 생산할 수있는 완전한 시스템입니다. ASML PAS 5500/300은 고급 모션 전달, 스테이지, 광학 및 제어 시스템으로 구성되어 있어 매우 정확한 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 빠른 속도와 높은 정확도에 최적화된 스테이지 디자인은 견고성과 열 안정성을 유지하여 낮은 진동 주파수 (low vbration frequency) 와 적은 열 드리프트 (thermal drift) 에서 정밀 배치 정확성을 제공하여 여러 처리 단계에서 안정적인 결과를 제공합니다. PAS 5500/300은 최고 수준의 평면 내 배치 정확성 및 반복 가능성을 위해 동력 정밀 단계를 제공합니다. 이 단계는 3 개의 독립적이고 백래시가없는 선형 모터 시스템 (linear motor system) 으로 구동되며 빠르고 정확한 위치를 달성합니다. PAS 5500/300의 Optic 및 Projection 시스템은 고급 해상도 및 반복 기능을 갖추고 있으며, 날카로운 프로파일과 고정밀 등록을 제공합니다. 또한 자외선 에서부터 원적외선 까지의 파장 범위 가 넓어서, 여러 가지 물질 과 호환 된다. "깨어라!" ASML PAS 5500/300은 또한 정확하고 안정적인 운영을 위해 고급 제어 시스템을 통합합니다. 여기에는 정밀 컨트롤러 (precision controller) 와, 복잡한 프로세스에서도 여러 절차에 걸쳐 높은 반복성을 가능하게 하는 실시간, 완전 자동 측정 및 피드백 제어 시스템이 포함됩니다. 결론적으로, ASML PAS 5500/300은 자동화되고 신뢰할 수있는 공정의 단일 웨이퍼에서 마이크로 서큐티 (microcircuitry) 를 생성 할 수있는 매우 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 여러 절차에 걸쳐 높은 반복성, 정확성, 신뢰성을 보장하기 위해 정밀 단계, 투영 시스템, 실시간 제어 시스템을 갖추고 있습니다.