판매용 중고 ASML PAS 5500 / 275D #293817866

ASML PAS 5500/275D는 반도체 장치 제작을 돕는 photolithography 응용 프로그램에 사용되는 현대적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 고정밀도 리소그래피 패턴을 웨이퍼에 쓸 수 있도록 하는 고효율 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다. 이 스테퍼는 고급 스캔 기술을 사용하여 마스크 홀더, 웨이퍼 캐리어, 광학 헤드를 단일 템플릿으로 동기화합니다. PAS 5500/275D (Vector Scanning Stepper) 는 디지털 드라이브 시스템, 자기 베어링 및 고급 투영 장비를 사용하여 레티클 홀더의 높은 정확도 위치를 달성하는 벡터 스캐닝 스테퍼입니다. 4 축 정밀 동작 제어는 마스크와 웨이퍼를 미세하게 정렬하여 미세 오버레이 (fine overlay) 응용 프로그램에 적합합니다. 이 장치에는 안정적이고 견고한 웨이퍼 처리 시스템도 있습니다. 2 차원 초점 광학을 사용하는 효율적인 조명 장치 (lumination unit) 와 웨이퍼를 노출시키는 데 사용되는 에너지의 양을 줄이기 위해 이진 학생 기계 (binary pupil machine) 를 사용합니다. 또한 뛰어난 성능을 제공하면서 낮은 에너지 소비를 유지할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 자동 패턴 인식 도구 (automatic pattern recognition tool) 가 있어 패턴 응용 프로그램에서 높은 처리량과 수율을 달성할 수 있습니다. ASML PAS 5500/275D에는 정확하고 반복 가능한 노출 프로세스를 보장하는 고급 제어 자산이 있습니다. 즉, 운영 실행을 설정하는 데 소요되는 시간이 단축되어 프로세스의 성능과 효율성이 향상됩니다 (영문). 마지막으로, 석판화 작업 원격 진단 및 모니터링을위한 온보드 통신 인터페이스가 장착되어 있습니다. 전반적으로, PAS 5500/275D는 안정적이고 반복 가능한 반도체 장치를 제작하는 데 효과적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 강력한 구성과 고급 자동화 (automation), 디지털 드라이브 시스템 (digital drive system), 옵틱 (optics) 을 통해 전력 소비를 최소화하면서 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한 원격 통신 인터페이스 (remote communication interface) 를 통해 필요한 경우 석판화 작업을 모니터링하고 매개변수를 조정할 수 있습니다.