판매용 중고 ASML PAS 5500 / 250C #9209713
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ASML PAS 5500/250C 웨이퍼 스테퍼는 ASML에서 만든 고급 리소그래피 스테퍼입니다. 다양한 전자 응용을위한 반도체 생산에 사용됩니다. 이 기계 는 반도체 부품 을 제조 하기 위하여 감광 물질 층 을 "실리콘 웨이퍼 '에 상상 할 수 있다. PAS 5500/250C는 광학과 노출 방법을 조합하여 패턴을 웨이퍼로 전송합니다. 광학은 높은 수치 조리개 시스템 (high-numerical-aperture system) 으로 구성되며, 이를 통해 기계는 극도로 정확한 고해상도 이미지를 전송할 수 있습니다. ··· 노출 방법 을 이용 하여 기계 는 원하는 "패턴 '을 만들기 위하여" 웨이퍼' 의 여러 영역 에 각기 다른 "에너지 '수준 을 적용 할 수 있다. ASML PAS 5500/250C는 또한 다른 이미징 시스템과 통합되어 정확하고 정확한 다중 레이어 이미징을 위해 정렬될 수 있습니다. 이 기계는 0.25 미크론의 오차율로 매우 정확합니다. 또한 0.06 미크론의 작은 이미징 패턴을 할 수 있습니다. PAS 5500/250C 설계의 핵심 요소이기도 합니다. 이 기계는 다양한 자동화 시스템과 호환되며, 이를 통해 빠르고 쉽게 설치 및 작동할 수 있습니다. 설치 및 작업은 CAD 소프트웨어의 도움을 받으며, 이를 통해 패턴을 웨이퍼에 프로그래밍할 수 있습니다. 전반적으로 ASML PAS 5500/250C는 반도체 산업에서 리소그래피를위한 안정적이고 정확한 기계입니다. 광학 (Optic) 과 노출 (Exposure) 방법의 조합은 고해상도 패턴을 극도로 정확하게 만들고, 다양한 자동화 시스템과 CAD 프로그램을 통해 기계를 쉽게 프로그래밍하고 작동시킬 수 있습니다.
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