판매용 중고 ASML PAS 5500 / 250C #293811101

ASML PAS 5500/250C는 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 전문가 급 웨이퍼 스테퍼입니다. 집적 회로 및 기타 관련 마이크로 일렉트로닉 장치의 생산에 사용됩니다. 이 장비는 메인프레임, de-chuckers 및 chuckers, 컴퓨터 제어 장치, 광학 정렬 시스템, 웨이퍼 처리 장비, 모터 및 드라이브 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. 메인프레임은 전체 유닛을 제어하고, 드 처커 (de-chuckers) 와 처커 (chucker) 와 웨이퍼 처리 (wafer handling) 로봇은 웨이퍼 전송을 처리합니다. 컴퓨터 제어 장치는 각 컴퓨터 구성 요소에 명령을 보내고 웨이퍼 로드/언로드, 공구 조정, 보정 (calibration) 을 위한 데이터를 유지 관리합니다. 광학 정렬 에셋은 와퍼의 위치를 정밀도 및 정확도로 측정하는 데 사용되며, 정렬을위한 동력 단계 (motorized stage), 2 개의 레이저 간섭계, 잘못된 정렬 측정을위한 디지털 신호 프로세서 (DSP) 및 모니터로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 장비는 엘리베이터, XY 변환 단계, 카세트 리프트 (cassette lift) 로 구성되며, 모두 웨이퍼 스테이지에 웨이퍼를 정확하게 배치하는 데 도움이됩니다. 이 모터와 드라이브는 정렬 모터, 메인프레임 컴포넌트, 웨이퍼 처리 (wafer handling) 로봇에 대한 정확한 동작을 제공합니다. 이 모델은 21mm 웨이퍼 이동 기능이있는 50mm 시야각, 배치 정밀도 7nm, 정렬 정밀도 0.2 mm 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한 분당 최대 12 개의 웨이퍼 속도를 가지며 300mm 및 200mm 웨이퍼 크기를 모두 수용 할 수 있습니다. PAS 5500/250C 는 배치 (batch) 및 연속 (continuous) 프로덕션 환경 모두에서 작업할 수 있어 생산량 및 효율성 향상, 처리량 향상, 보다 안정적인 운영 등 기존 웨이퍼 스테퍼에 비해 다양한 이점을 제공합니다. 수많은 자동 (automated) 및 반자동 (semi-automated) 기능을 제공하여 대용량 (high-volume) 생산에 적합하므로 프로세스가 적시에 완료되고 품질이 높은 결과를 얻을 수 있습니다.