판매용 중고 ASML PAS 5500 / 200B #293804503

ASML PAS 5500/200B는 스테퍼 트랙 석판 장비라고도하는 웨이퍼 스테퍼 유형입니다. 광전도 시설에서 반도체 산업의 집적 회로를위한 회로를 만드는 데 사용됩니다. 시스템은 웨이퍼 (wafer) 표면의 패턴 아래쪽에 놓인 빛과 마스크 조합을 통해 이를 달성합니다. PAS 5500/200B의 총 스테퍼 크기는 2 미터 x 1.5 미터이며, 직경 최대 200mm의 웨이퍼를 밟을 수 있으며, x 및 y 방향으로 1.2 jm 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 고해상도, 광자 에너지 246 ~ 1064 nm, 광학 줌 범위 16 배의 광대역 조명을 사용합니다. 이 장치는 0.45에서 1.35 사이의 다양한 수치 조리개를 제공 할 수 있습니다. 이 범위를 통해, 150nm ~ 30m에 이르는 다양한 기능 크기와 다양한 스캔 기능을 만들 수 있으며, 초점 범위는 각각 8nm ~ 28m입니다. ASML PAS 5500/200B는 열을 동기화하고 고해상도 패턴 인쇄를 허용하는 3축 닫힌 루프 제어 머신을 사용합니다. 두 가지 속도 동력 축은 정밀 볼 나사 (Precision Ball Screws) 에 의해 구동되며, 빠르고 신뢰할 수있는 방식으로 높은 위치 정밀도를 제공 할 수 있습니다. 이 도구에는 고해상도, 위치 피드백 에셋, 닫힌 루프, 습도 제어 기능도 있습니다. 이 모델은 적극적인 오버레이 제어 (overlay control) 및 빠른 처리량을 지원하므로 볼륨 생산주기가 빨라집니다. 내장형 SoftRecipe 소프트웨어는 사용자 친화적이고 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 운영 및 유지 보수가 간편합니다. 또한, 고급 통계 및 형상 기반 분석 함수뿐만 아니라, 그래픽 기능을 모두 제공합니다. 마지막으로, PAS 5500/200B 는 포괄적인 표준 안전 프로토콜을 통합하여 안전 관련 이벤트의 위험을 최소화합니다. 각 구성 요소는 최신 안전 제어 (Safety Control) 메커니즘을 사용하여 최첨단 안전 연결 (Safety Interlock) 기능을 갖춘 업계 최고의 안전 표준에 따라 설계 및 테스트됩니다. 이러한 고급 안전 기능을 통해 ASML PAS 5500/200B는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼 트랙 리소그래피 장비입니다.