판매용 중고 ASML PAS 5500 / 200 #293817870

ASML PAS 5500/200은 네덜란드에 본사를 둔 네덜란드 기술 회사 ASML에서 제조 한 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체· 집적회로 제조업체들이 포토리토그래피 (photolithography) 과정에서 주로 사용하는데, 여기서 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 기판에 경량 패턴이 투영되어 나노미터 스케일까지 정확한 모티프를 재현한다. 스테퍼는 7 초 이내에 전기 부품을 웨이퍼에 라인업, 노출, 검사할 수 있습니다. 시스템 정확도는 0.4 마이크로 미터이며 숫자 조리개는 0.7입니다. 이 기계는 254 ~ 365nm에서 밝고 조절 가능한 소스 스펙트럼을 특징으로하며, 0.1 ~ 2500 mj/cm2에서 0.2 ~ 500ms 노출 시간을 선택할 수 있습니다. ASML PAS 5500/200에는 2 개의 외부 진동 댐퍼 (damper) 가 있으며, 복잡한 광학 장치뿐만 아니라 빠른 레티클 및 웨이퍼 스테이지에 적합하여 다른 빠르고 정확한 프로세스를 제공합니다. 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. PAS5500/200 에는 운영자 시간을 줄이고 워크플로우 결과를 개선하기 위해 설계된 자동 제어 시스템 (Automated Control System) 이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 이미지 왜곡 및 기타 오류를 자동으로 수정할 수 있으며, 단일 레이어 정렬 정확도 2 미크론 (2 미크론) 과 다중 레이어 정렬 정확도 1 미크론 (1 미크론) 과 온도 조절 (섭씨 -10 ~ 50 도) 을 사용할 수 있습니다. 운영 관점에서 볼 때, 스텝퍼 (stepper) 는 사용자 친화적이며, 제대로 작동하려면 최소한의 기술 지식이 필요합니다. 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface), 컴퓨터 작업 셋업 매개변수 (Computerized Job Setup Parameter) 및 손쉽게 액세스할 수 있는 다양한 진단 데이터가 장착되어 있습니다. 전반적으로 ASML PAS5500/200은 반도체 및 집적 회로 제조업체에 안전하고, 정확하며, 비용 효율적인 photolithography 솔루션을 제공하는 높이 평가되고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계의 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface), 뛰어난 정확도, 뛰어난 모션 컨트롤 (Motion Control) 기능을 통해 이러한 기업의 생산 라인에 몇 년 동안 필수적인 장비를 유지할 수 있습니다.