판매용 중고 ASML PAS 5500 / 1100B #293763327

ASML PAS 5500/1100B 웨이퍼 스테퍼는 반도체 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이것 은 "나노미터 '척도 로 복합 반도체 장치 를 무늬 화 하는 데 사용 되며, 더욱 고급적 이고 강력 한 집적 회로 장치 를 제작 할 수 있다. 특히, PAS 5500/1100B는 단일 노출 도구에서 고급 옵틱과 조명을 정밀 패턴화와 결합합니다. 4 단계 자동 초점 시스템, 고급 다크 필드 광학 및 비스듬한 각도 조명, 최첨단 레이저 간섭계 스캔 및 스테레오 리소그래픽 이미징이 특징입니다. 6 인치 스캐너를 사용하면 단일 사진 마스크 패턴에서 대형 어레이 기판까지 다양한 기판이 노출 될 수 있습니다 (영문). ASML PAS 5500/1100B 는 6 개의 프로그래밍 가능한 광축을 갖추고 있으며, 이를 통해 마스크 패턴에 기판을 정확하게 정렬하고, 가능한 가장 높은 수율을 얻을 수 있습니다. 고정밀 스캔 단계 및 회전 단계와 결합하여 8 인치 기판에서 정확한 서브 미크론 해상도를 산출합니다. 시스템은 임의의 파형을 생성하고 기판과 마스크 사이에 컴퓨터 생성 (computer-generated) 정렬을 제공할 수도 있습니다. PAS 5500/1100B 의 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 는 Wafer Stepper 용으로 특별히 설계되었으며 복잡한 프로세스 개발을 용이하게 하는 툴과 함께 제공됩니다. 여기에는 직관적인 사전 스캔 및 사후 스캔 정렬 도구, 함수 흐름 레시피 편집기, 필터 기반 작업 추적, 패턴 추적 및 기능 인식이 포함됩니다. 전반적으로 ASML PAS 5500/1100B는 고급 반도체 장치 제작을위한 훌륭한 도구이며, 8 인치 기판에 대한 서브 미크론 정확도를 제공합니다. 고급 이미징 광학과 조명, 다용도 스캐닝 단계, 유연한 그래픽 사용자 인터페이스, 통합 프로그래밍 툴의 조합으로 의료, 항공 우주, 자동차 어플리케이션에 완벽한 선택이 가능합니다.