판매용 중고 ASML PAS 5500 / 1100 #293655010

ASML PAS 5500/1100은 반도체 장치 제조를위한 모션 제어 및 도량형 도구입니다. 프로세스 당 1 기판 단계 및 반복 리소그래피 시스템이 장착 된 프로덕션 클래스 스텝 앤 스캔 도구입니다. PAS 5500/1100은 웨이퍼로 인쇄하기 위해 에너지 출력이 135W 인 쿼츠 할로겐 램프를 사용합니다. 램프는 자외선 (UV) 범위에서 작동하여 최적의 석판화 기능을 제공합니다. 웨이퍼는 선형 갈바노 모터 (linear galvano motor) 를 사용하여 스캔되며, 이는 매우 정밀하며 기판에서 정확하고 일관된 인쇄 패턴을 제공합니다. 인쇄 된 "패턴 '이 설계 에 참됨 을 확인 하기 위하여, PAS 5500/1100 에는 또한" 레이저' 간섭계 가 장착 되어 있는데, 이것 은 인쇄 된 "패턴 '이 확립 된 기준 에서 벗어나는 것 을 측정 한다. 또한 PAS 5500/1100 은 특수 정렬 기능 (specialized alignment facility) 을 제공하여 다양한 wafer 유형에 걸쳐 패턴을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이것은 대비 이미징, 초점 감쇠 및 측벽 각도 결정의 조합으로 가능합니다. 패턴 중첩 (pattern overaping) 은 측정 (measuring) 과 정렬 (alignment) 모두에 대한 fiducial 기준점 역할을하는 정렬 표시를 사용하여 더욱 향상됩니다. 강도 측정, 대비 이미징 및 fiducials는 모두 정렬 중에 지속적으로 검사됩니다. 초고속 처리량을 자랑하는 PAS 5500/1100 은 Advanced Process Control 에 이상적인 플랫폼을 제공합니다. 프로세스 변경 (process variations) 및 출력 경고 신호를 검색한 후 프로세스 단계를 완료합니다. 이를 통해 엔지니어는 비 호환 웨이퍼가 생성되기 전에 수정 조치를 취할 수 있습니다. 마지막으로, PAS 5500/1100 은 낮은 TCO 를 고려하여 설계되었습니다. 이는 프로세스 단계 간의 오버헤드 시간을 줄이고, 유지 관리 작업 수를 줄이고, 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 를 통한 기판 전송 시간을 최적화함으로써 달성됩니다. PAS 5500/1100 은 컴팩트한 크기, 고정밀도 및 논스톱 (non-stop) 작동과 결합하여 대용량 반도체 장치 생산에 이상적인 솔루션입니다.