판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100D #9203101

ASML PAS 5500/100D는 고급 반도체 제조 회사 인 ASML이 개발 한 세계 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. "웨이퍼 (wafer) '라는 원형 플레이트로 패턴을 정확하게 전송하기 위한 컴팩트한 공기베어링, 정밀 포지셔닝 장비입니다. ASML PAS 5500/100D는 기본 구조, 람다 축 및 패턴 생성기의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 주요 구조는 정밀 모터에 의해 구동되는 X-Y 스테이지로 구성되어 3 개의 동작 축에서 나노 미터 레벨 안정성을 모두 달성합니다. 람다 축 (lambda-axis) 은 웨이퍼를 회전시키고 적용에 따라 라운드 (round), 사각형 (rectangular), 사각형 (square) 과 같은 다양한 형식의 배열을 채택 할 수있는 회전 단계입니다. 패턴 생성기 (pattern generator) 에는 전송된 레이저 표시등에 노출될 때 웨이퍼의 패턴을 생성하는 고성능 레이저 컴포넌트가 포함되어 있습니다. 패턴 생성기 (pattern generator) 에는 원하는 해상도를 300nm까지 제공하는 고급 광학 시스템도 포함되어 있습니다. PAS 5500/100 D는 또한 고정밀 정렬 및 포지셔닝을 위한 강력한 닫힌 루프 동작 제어 장치를 갖추고 있습니다. 이 제어 기계는 인코더, 피드백 도구 및 정확한 웨이퍼 전송을 위해 vision/image processing asset 및 laser interferometry와 같은 다양한 인터페이스 요소를 사용합니다. 기계의 설계는 또한 공기 베어링 (air-bearing) 모델을 사용하여 진동을 최소화하고 안정적인 플랫폼을 보장합니다. ASML PAS 5500/100 D에는 고급 환경 제어 장비도 장착되어 있습니다. 이 시스템은 정밀 온도 및 습도 조절을 통해 웨이퍼 (wafer) 매개변수를 유지하고 열 또는 습도로 인한 손상을 피할 수 있습니다. 전체 장치는 먼지 방지 (dust-proof) 컨테이너로 둘러싸여 있어 먼지가 없는 환경을 보장합니다. 마지막으로 PAS 5500/100D 는 사용자 친화적 인터페이스를 통해 손쉽게 작동할 수 있습니다. 여기에는 설정 및 매개변수를 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의할 수 있는 대화형 GUI (Graphical User Interface) 가 포함됩니다. 또한 이 컴퓨터에는 진단 소프트웨어 (diagnostic software) 가 있는데, 이 소프트웨어를 사용하여 기계 작업을 분석하고 오류 또는 오류를 감지할 수 있습니다. 결론적으로, PAS 5500/100D는 오늘날 반도체 제조 산업의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 안정적이고 정밀한 웨이퍼 스테퍼입니다. 강력한 모션 컨트롤 머신 (motion control machine), 고급 옵틱 툴 (optics tool), 정확한 환경 제어 자산, 사용자 친화적 인터페이스 등 다양한 기능을 통해 효율적이고 정확한 웨이퍼 패턴을 제공합니다.