판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100D #9202871

ASML PAS 5500/100D는 자동 광 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치 는 "실리콘 웨이퍼 '를 자외선 에 정확 하고 정확 하게 노출 시키도록 설계 되었다. ASML PAS 5500/100D는 고해상도 이미저, 고급 광역학 및 전자공학 (Linear Motor) 을 사용하여 정확하고 안정적인 미세 구조 패턴을 보장합니다. 이 장치는 광학 및 기계적 설정 (optical/mechanical settings) 을 폭넓게 갖춘 정밀 도구로서, 처리량과 반복 가능한 품질을 제공합니다. PAS 5500/100 D 는 넓은 시야에 노출될 수 있어, 넓은 면적의 웨이퍼에 적합합니다. 높은 해상도와 정확한 정렬을 제공하는 고급 석판화 기술이 있습니다. 이를 통해 미세 구조가 정확하게 형성되고 정렬됩니다. 이 장치에는 동적 및 반복 가능한 정렬을 달성하기 위해 디지털 서보 모터가 장착 된 정밀 동작 제어 시스템 (precision motion control system) 도 있습니다. 고정밀 광학 시스템과 연결되어 있습니다. 이 시스템은 레이저 간섭계 (interferometer) 와 이미지 인식 (image recognition) 을 사용하여 정확한 패턴화와 정렬을 보장합니다. 마지막으로 PAS 5500/100D 에는 다양한 고급 광 안전 및 환경 보호 기능이 있습니다. ASML PAS 5500/100 D는 리소그래피 프로세스에서 포토 마스크 노출을위한 매우 안정적이고 정확한 도구입니다. 정확성, 반복성 및 높은 처리량을 통해 고급 반도체 장치를 위해 서브 미크론 크기 구조를 생산할 수 있습니다. 고정밀 옵토 역학, 고급 리소그래피 기술, 고정밀 모션 제어 (motion control) 기능을 통해 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 이러한 기능을 통해 PAS 5500/100D는 정확한 미세 구조를 생성하고 결함 및 프로세스 변화를 최소화할 수 있습니다. 또한 고급 광학 안전 (Optical Safety) 및 환경 보호 기능을 통해 안전한 작업 환경을 보장합니다. ASML PAS 5500/100D는 반도체 장치 생산의 사진 해설에 필수적인 도구 인 것으로 입증되었습니다.