판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100D #9202567

ASML PAS 5500/100D는 생산 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 를 포함하여 다양한 산업 용도로 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 생산 중 정확성과 정밀도를 높여 프로세스 자동화를 가능하게 합니다 (영문). 이 장치는 내구성이 뛰어난 고급 강철 바디 (Steel Body) 로 제작되었으며, 생산 중 탁월한 성능을 제공하기 위해 완성되었습니다. 또한, 뛰어난 성능을 제공하는 다양한 기계적, 전자적 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 빔, 레이저, 모터 및 기타 부품을 제어하기위한 스캐너가 포함됩니다. 통합 정렬 제어 장비; 웨이퍼 위치; 카세트 교환을위한 상승 메커니즘. ASML PAS 5500/100D는 레이저, 스캐너 및 투영 광학의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. "레이저 '" 모듈' 은 "웨이퍼 '에서 필요 한 무늬 를 수행 하는 데 사용 되는 거리 형성 을 발생 시키는 역할 을 한다. 스캐너 (scanner) 는 원하는 거리 패턴을 만들기 위해 레이저 빔을 이동하는 데 사용되며, 투영 광학 (projection optics) 은 투영 이미지의 품질을 최적화하기 위해 사용됩니다. "레이저 '" 모듈' 은 고해상도 와 "다이내믹 레인지 '로 구성 되어 있고" 스캐너' 는 훌륭 한 대조 와 복잡 한 "패턴 '을 만들어 내도록 만들어져 있다. 그 에 더하여, 그 장치 는 특허 받은 자동 "플래킹 '" 시스템' 을 갖추고 있는데, 이것 은 기계 가 "웨이퍼 '무늬 에 따라" 레이저' 광선 을 자동적 으로 조정 할 수 있게 해 준다. 따라서 운영 시간이 빠르고 정확하며, 프로세스 자동화가 빨라집니다. 또한, PAS 5500/100 D는 정교한 스테퍼 교정 장치를 통해 차원 정확도를 개선하도록 설계되었습니다. 이 기계는 노출 시퀀스 (Exposure Sequence) 동안 노출 용량 (Exposure Dose) 및 오버레이 (Overlay) 정밀도 구축을 모니터링하고 조정하며 정확한 제어 수준을 제공합니다. 또한 고급 레티클 교체 (Reticle Replacement) 툴과 영리한 트레이 포지셔닝 (Tray Positioning) 자산이 장착되어 있어 웨이퍼 포지셔닝에 결함이 없으며 다운타임을 최소한으로 유지합니다. 전체적으로 PAS 5500/100D는 다양한 산업 용도로 특별히 설계 및 제작 된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 패턴화 (Patterning) 와 노출 (Exposure) 에 매우 효율적으로 사용할 수 있는 다양한 기능을 제공하며, 정교한 자동 조정 (Autotracking) 모델을 포함하면 그 어느 때보 다 빠르고 정확합니다.