판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100D #9075820

ASML PAS 5500/100D는 반도체, 광자 및 마이크로 일렉트로닉스 제작을 위해 설계된 최첨단 단계 및 반복 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 8 인치 직경의 웨이퍼 (wafer) 의 효과적인 필드 영역을 자랑하여 가장 작은 전자 부품에서도 일관된 생산을 가능하게합니다. ASML PAS 5500/100D는 고급 0.6 및 0.75 미크론 업그레이드를 사용하여 업계 최고의 해상도와 오버레이 오류를 5 배 줄입니다. 이 신뢰할 수있는 스테퍼는 고유한 하단 격리 폐쇄 루프 아키텍처 (bottom containment closed loop architecture) 를 포함하여 아트 정밀 이동 컴포넌트의 상태를 제공하여 정확성과 반복성을 보장합니다. PAS 5500/100 D에는 또한 디지털 관성 (DI) 센서, 기울기 교정 속도 센서 (TCV) 및 XY 속도 센서로 구성된 독점 센서 어셈블리가 포함되어 있어 프로세스를 정확하고 자동화합니다. ASML PAS 5500/100 D는 고급 헬륨 네온 (HeNe) 레이저 시스템을 사용합니다. 즉, 완전히 자동화된 웨이퍼를 사용하여 패턴 등록과 정확한 패턴 노출이 가능합니다. HeNe 레이저 장치 (Laser Unit) 는 각 개별 사용자의 요구에 맞게 효율적이며 적응이 가능하므로 레이저 노출 용량, 스캔 속도, 레이저 강도, 스캔 영역을 원하는 사양에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 이 시스템에는 사용자 환경을 더욱 향상시키기 위한 소프트웨어 업그레이드가 포함되어 있습니다. 이미지 처리 알고리즘은 정밀하게 등록 표시를 정의하고, 전례없는 정밀도로 고유한 기능을 정확하게 찾을 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어에는 사이클 시간을 향상시키고 코팅 오류를 방지하도록 설계된 강력한 자동화 (automation) 도구가 장착되어 있습니다. PAS 5500/100D를 통합 한 특허를받은 AX + 시리즈 스테퍼는 고급 오버레이 및 이미지 왜곡 수정 메커니즘을 사용합니다. 이 특허를받은 기술은 웨이퍼 노출이 일관되고 정확하다는 것을 보장합니다. PAS 5500/100D는 반도체, 광자 및 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 대용량 생산을위한 완벽한 스테퍼입니다. HeNe 레이저 툴, 특허 기술, 강력한 소프트웨어 덕분에, 이 자산은 탁월한 정확성과 반복 능력을 제공합니다.