판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100D #9045382

ASML PAS 5500/100D는 고도의 웨이퍼 스테퍼 생산 장비입니다. 이 매우 정밀한 기계는 복잡한 패턴을 마이크로 칩 웨이퍼 (microchip wafer) 표면에 에칭하는 데 사용됩니다. 그것 은 극히 정확 한 "미러 '광학 장치 를 사용 하여 광선 을 전파 하여" 패턴' 을 기판 에 에칭 한다. 이 장치는 일관된 정확성과 생산률로 인해 생산 시설의 "워크 호스 (workhorse)" 로 간주됩니다. ASML PAS 5500/100D의 핵심은 4 개의 호 모양의 거울을 포함하는 곡선 거울을 포함하는 스캐너입니다. 이러한 미러는 "면 미러 (facet mirror)" 로 알려져 있으며 광학 시스템이 단일 포인트 소스에서 복잡한 패턴을 스캔할 수 있습니다. 광학 장치는 수평 및 수직 모두를 스캔할 수 있으며 375mm/s의 속도로 움직일 수 있습니다. 광학 기계는 온도 조절을 통해 정확하고 정확한 패턴 복제를 보장합니다. PAS 5500/100 D 는 사용자가 세 가지 방법으로 시스템을 제어할 수 있도록 자체 소프트웨어와 상호 작용하도록 설계되었습니다. 첫 번째는 실시간 (real-time) 모드로, 연산자가 노출 시간, 에너지, 패턴 복잡도와 같은 일반 및 특정 변수를 모두 선택하고 설정할 수 있습니다. 두 번째는 "벌크 (bulk)" 모드로, 사용자가 한 번에 여러 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 세 번째는 "배치 (batch)" 모드로 사용자가 동시에 여러 작업을 처리할 수 있습니다. PAS 5500/100D 는 인라인 도량형 (in-line metrology) 툴을 통해 사용자가 에칭 패턴의 정확성을 확인할 수 있습니다. 이 에셋은 에칭 프로세스와 동일한 광 모델 (optical model) 을 사용하여 재료의 패턴을 이미지화하고 발견된 경우 모든 분산을 결정합니다. PAS 5500/100D의 다른 기능으로는 진공 웨이퍼 처리 시스템, LED 소스, 고전압 전원 공급 장치, 고밀도 테이프 자동 결합 장비 (고밀도 테이프 자동 결합 장치) 가 있으며, 이 장비는 매우 세밀한 회선과 작은 기능을 갖춘 최신 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 요약하면, ASML PAS 5500/100 D는 마이크로 칩 웨이퍼 생산에 사용되는 매우 고급적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼 머신입니다. 정교한 온도 조절 광학 장비 (optical equipment) 를 통해 매우 높은 정확도로 단일 지점에서 복잡한 패턴을 스캔할 수 있습니다. 또한 다수의 인라인 도량형 시스템을 사용하여 에칭 된 패턴의 정확성과 진공 웨이퍼 처리 시스템 (vacuum wafer handling system) 을 두 번 검사하여 효율성을 높입니다. 강력하고 안정적인 설계로 ASML PAS 5500/100D는 모든 웨이퍼 생산 시설에서 귀중한 도구입니다.