판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100D #293656526

ASML PAS 5500/100D는 고정밀, 고해상도 웨이퍼 스테퍼로, 고급 마이크로 전자 장치를 생산할 수 있습니다. 나노 기술 (nanotechnology) 을 위한 최첨단 툴로서, 극단적인 환경을 위해 매우 작은 부품을 제작할 수 있습니다. ASML PAS 5500/100D는 강력하고 신뢰할 수 있는 운동학적, 포지셔닝 플랫폼을 기반으로 구축되어 탁월한 성능을 제공합니다. 4kW 조명 소스를 통해 광학 장비는 해상도, 정확도 및 처리량을 최대화합니다. PAS 5500/100 D에는 4 개의 동작 축이 있으며, 이를 통해 기계는 극도의 정밀도에 따라 스캔, 초점 및 정렬할 수 있습니다. 동력 운동학적 시스템 (Motorized Kinematic System) 은 여러 플래텐의 정렬을 통해 정밀도를 보장하며, 모두 축을 일제히 회전시킵니다. 전동식 포지셔너 (motorized positioner) 는 또한 광범위한 도량형 기능을 제공하며, 광학 장치는 회절 및 수차 보정 및 수차 제거를 수행합니다. PAS 5500/100D는 마이크로프로세서 및 기타 집적 회로와 같은 엄청나게 작은 칩의 생산을 돕습니다. 해상도는 0.5 미크론 (0.1 마이크론) 을 넘어 최첨단 디테일로 고급 집적 회로를 생성 할 수 있습니다. 등록 (Register) 모드일 때, 기계는 몇 미크론 내에서 웨이퍼 등록이 정확한지 확인합니다. PAS 5500/100D는 한 번에 여러 개의 포토 마스크 (photomask) 를 생성할 수 있으므로 프로세스가 더 효율적입니다. 또한 온트랙 (On-Track) 옵티컬 머신 (Optical Machine) 을 사용하면 머신을 재배치하는 데 소요되는 시간을 줄여 이동할 때마다 동일한 픽셀 크기로 돌아갈 수 있습니다. 또한, 이 도구는 발열을 줄이고 효율적인 냉각을 촉진하도록 설계되었습니다. ASML PAS 5500/100 D에는 완벽한 작동을 보장하기 위해 매개변수를 모니터링하는 자체 진단 자산이 있습니다. 이 모델에는 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 의 성능을 실시간으로 평가하기 위해 기계에 메트릭을 전달하도록 설계된 지능형 센서 네트워크가 포함되어 있습니다. 또한 전체 자동화 (full automation) 기능을 통해 사용자가 자신의 워크플로우에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 탁월한 성능 외에도 ASML PAS 5500/100D 는 유지 보수 지원 기능을 제공하여 안정성이 높고, 안전하며, 사용이 간편합니다. 이 도구는 차원의 정확성과 반복성 (repeatability) 을 통해 극한의 상황에서도 정확성과 경제적인 안정성을 제공합니다. 고급 기술의 조합으로 복잡한 나노 기술 응용 분야에 이상적입니다.