판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100C #293822312

ASML PAS 5500/100C는 파퍼 스테퍼 머신으로, 고도의 정밀 사진 분석 및 이미징 프로세스가 가능합니다. 이것은 반도체, 광전자 장치 및 기타 영상 재료의 생산을 위해 설계된 단계 및 반복 패턴 제조 장비 (Step and Repeat Pattern Manufacturing Equipment) 입니다. 이 "시스템 '은 극히 정확 한 단계 를 사용 하여 고정 된" 렌즈' 원소 의 집합 아래 "웨이퍼 '를 이동 시켜" 웨이퍼' 에 "패턴 '을 투영 한다. 패턴은 일반적으로 컴퓨터 프로그램에 의해 정의됩니다. ASML PAS5500/100C는 고급 옵틱 유닛이있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 총 8 개의 렌즈가있는 2 개의 고수 조리개 렌즈가 통합되어 있습니다. 첫 번째 렌즈는 필드 렌즈 역할을하고 다른 7 개의 렌즈는 이미징 렌즈 역할을합니다. 이미징 목표는 기계가 뛰어난 정확성과 최소 1 미크론의 스팟 크기를 달성 할 수있는 7 개의 DLAP (Diffractive Laser Advanced Patterning) 무구 렌즈로 구성됩니다. PAS 5500/100C는 컴퓨터수치 제어 (CNC) 를 통해 기계가 웨이퍼 표면에서 패턴을 정확하게 반복 할 수 있습니다. 이 도구에는 또한 2 개의 전동 스테이지가 있으며 x, y 및 z 축에서 움직일 수 있습니다. CNC (Multi-Axis Motion Controller) 와 고정밀 피드백 제어 자산이 장착되어 있어 정확성과 반복성이 뛰어납니다. PAS5500/100C에는 다양한 재료를 빠르고 쉽게 처리 할 수 있도록 미리 정의된 패턴 라이브러리가 함께 제공됩니다 (영문). 또한 사용자 제공 데이터 (user supplied data) 를 기반으로 이미지를 완벽하게 사용자 정의할 수 있는 이미지 처리 소프트웨어가 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 모델이 이전 작업을 저장하고 리콜할 수 있게 해 주며, 더 빠른 주문 처리 속도 (processing of order) 를 제공합니다. ASML PAS 5500/100C는 1 미크론에서 750 미크론 이상의 패턴 크기를 생성 할 수 있습니다. 고해상도 (High Resolution) 기능은 최고의 화면 비율을 제공하여 정확하고 정확한 이미징을 제공합니다. 이 장비의 정확성은 독점 정렬 소프트웨어에 의해 더욱 향상되었습니다. 이 소프트웨어는 최대 효율성을 위해 레티클을 자동으로 웨이퍼에 정렬합니다. ASML PAS5500/100C는 최고 정밀도, 최고 품질의 이미징 잠재력을 제공하는 고급 이미징 시스템입니다. 컴팩트하고 신뢰할 수 있는 장치로, 빠르고 경제적인 생산이 가능합니다. 이 기계는 확장성이 뛰어나 대용량 (Mab Volume) 생산과 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 이 기계는 또한 가장 까다로운 어플리케이션에 가장 높은 해상도와 정밀도를 제공합니다 (영문).