판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100 #9218991

ASML PAS 5500/100은 반도체 장비 회사 인 ASML (ASML) 이 반도체 제조업체가 더 빠르고 효율적인 장치를 생산할 수 있도록 제작 한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 "머신 '에는 여러 가지 구성 요소 가 있는데, 이 모든 것 은 고급" 칩' 생산 에 대한 엄격 한 요구 를 충족 시키도록 독특 하게 설계 되었다. ASML PAS 5500/100은 2 축 선형 액추에이터, 틸트 액추에이터, 스핀들 및 스테이지 위치를 매우 정밀하게 측정하는 광학 인코더로 구성된 정렬 기 단계를 특징으로합니다. 이 정밀도 (precision type of precision) 를 통해 기계는 인쇄할 패턴의 미세한 세부 (microscopic details) 에 따라 웨이퍼 (wafer) 상의 위치를 자동으로 조정할 수 있으므로 가장 정확한 인쇄가 가능합니다. "스테퍼 '에는 생산 과정 중 에 안전 하고 정확 하게" 웨이퍼' 를 수송 하도록 설계 된 "웨이퍼 '취급 장비 도 포함 된다. 이 시스템은 웨이퍼 카세트, 그리퍼, 척 및 각각 6 개의 패딩 된 진공 암이있는 2 개의 로드/언로드 로봇으로 구성됩니다. "로봇 '과 무기 는 수송 중 에" 웨이퍼' 의 정확 한 이동 을 보장 하기 위하여 "컴퓨터 '장치 와" 서보모터' 에 의하여 조절 된다. 또한, PAS 5500/100은 고급 레이저 스캐닝 기술 (advanced laser scanning technology) 을 사용하여 회로 경로 역할을하는 미세한 선을 만들기 위해 웨이퍼에 자외선 노출을 안내합니다. 이것은 308 nm 레이저 광원에 의해 수행되며, 이는 일련의 거울 및 렌즈쪽으로 빛을 방출하여 웨이퍼 (wafer) 의 매우 작은 표적에 조명을 집중시킵니다. PAS 5500/100의 마지막 핵심 구성 요소는 비전 머신입니다. 시각 도구는 두 개의 카메라를 사용합니다. 하나는 저해상도 (low resolution) 이미지를 캡처하고 다른 하나는 고해상도 (higher resolution) 이미지를 캡처합니다. 이 2 카메라 자산을 통해 기계는 웨이퍼 (wafer) 에 상세한 현미경 패턴을 정확하게 캡처할 수 있으며, 고품질 반도체 장치 생산에 필수적입니다. 전반적으로 ASML PAS 5500/100은 인상적인 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 반도체 웨이퍼에 매우 정밀한 자외선 노출을 제공하기 위해 다양한 구성 요소가 함께 작동합니다. 고급 레이저 스캐닝 (Laser Scanning), 2 카메라 비전 모델 (Two-Camera Vision Model) 및 정교한 웨이퍼 처리 부품을 사용하면 현대 장치의 생산에 필수적인 가장 복잡하고 상세한 현미경 패턴을 만들 수 있습니다.