판매용 중고 ASML PAS 5500 / 100 #293814116

ASML PAS 5500/100은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 1990 년대 초에 개발 된 ASML PAS 5500/100은 반도체 부품 생산의 중요한 단계 인 고정밀도 및 비용 효율적인 웨이퍼 패턴 작성 방법을 제공합니다. PAS 5500/100은 6.25 인치 고수치 조리개가있는 이중 조명, 5.5 인치 시야를 특징으로합니다. 50kHz 아르곤 이온 레이저로 구동되는이 스테퍼는 매우 정확한 패턴화 기능을 제공합니다. 또한, 특허를받은 장비의 ArF-Laser Direct Imprint (LDI) 시스템은 200m 깊이의 고성능 환경 패키지를 제공합니다. 또한 PAS 5500/100에는 웨이퍼 서피스를 정확하게 정렬 할 수있는 고급 웨이퍼 처리 메커니즘이 있습니다. 이 기능은 자동화된 사전 정렬 장치 (pre-alignment unit) 에 의해 향상되었는데, 이 장치는 웨이퍼에서 기존 결함을 정확하게 찾을 수 있습니다. 선형 모터 드라이브 머신 (Linear Motor Drive Machine) 은 스테이지와 셔터 사이의 오정을 더욱 줄입니다. 또한 ASML PAS 5500/100에는 패턴화 프로세스를 단순화하는 고급 프로그래밍 도구가 있습니다. 이 자산은 PC 기반 모델 소프트웨어를 사용하여 엔지니어가 최소한의 노력으로 복잡한 설계 수정을 설계, 구현할 수 있도록 합니다. ASML PAS 5500/100은 매우 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 최대 웨이퍼 출력은 시간당 100 웨이퍼입니다. 이 장비는 또한 다이 당 25 ~ 30 초의 속도로 뛰어난 고속 다이 투 다이 평균을 제공합니다. 전반적으로 PAS 5500/100은 매우 안정적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 시스템은 고정밀도, 저비용 구성 요소와 최대한의 안정성을 결합한 탁월한 성능을 제공합니다. PAS 5500/100 을 통해, 엔지니어는 최소한의 노력과 최대한의 효율성으로 wafer patterning 작업을 완료할 수 있습니다.