판매용 중고 ASML PAS 5000 / 55A #9315876

ASML PAS 5000/55A는 DRAM, 마이크로 프로세서 및 논리 장치와 같은 집적 회로 (IC) 생산에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. "레이저 빔 '을 이용해 실리콘 웨이퍼에 패턴을 옮기는 고정밀 이미징 장비다. ASML PAS 5000/55 A는 광학 단계, 스캔 단계 및 제어 장치로 구성됩니다. 광학 단계에는 조명 시스템, 빔 분할 장치 및 프로젝션 광학 기계가 포함됩니다. 조명 도구 (lumination tool) 는 웨이퍼에 정확한 크기의 스팟을 생성 할 수있는 강력한 레이저입니다. 빔 분할 에셋 (beam-splitting asset) 은 레이저의 빛을 두 개의 빔으로 나눈 다음, photomask 패턴을 만드는 데 사용됩니다. 투영 광학 모델은 photomask 패턴을 확대하고 wafer에 정확하게 정렬합니다. 스캔 단계는 X 및 Y 위치 지정 단계와 회전 단계로 구성됩니다. 이 단계는 광학 (optics) 단계에서 생성한 패턴과 관련하여 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 제어 장치는 웨이퍼 스테퍼의 작동을 정확하게 제어하는 데 사용됩니다. PAS 5000/55A (PAS 5000/55A) 는 0.25um 해상도의 웨이퍼에 패턴을 인쇄 할 수 있으며, 이는 기존 필름 기술의 정밀도보다 훨씬 큽니다. 이 기능은 DRAM과 같은 고밀도 IC 생산에 이상적입니다. 이 장비는 또한 처리율이 높아 짧은 시간 내에 수백 개의 IC (IC) 를 생성 할 수 있습니다. 또한, PAS 5000/55 A에 필요한 낮은 노출 용량을 사용하면 웨이퍼에 매우 훌륭한 기능을 손상시키지 않고 생산할 수 있습니다. ASML PAS 5000/55A는 안정적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼로, 종종 IC 제작에 사용됩니다. 높은 정밀도, 높은 처리량, 낮은 노출 용량을 제공하므로 초고밀도 집적회로 (UPS) 의 생산에 필수적인 도구입니다.